[实用新型]镀层厚度测量装置

权利要求书

1.一种镀层厚度测量装置，其特征在于，该镀层厚度测量装置包括：

高压电源，用于提供高压电源；

X射线管，设置于整个镀层厚度测量装置下方，与所述高压电源相连接，由高压电源激发发射出X射线，所述X射线的发射方向向上；

准直器，设置在所述X射线管与被测物质之间，将X射线准直；

射线安全联锁机构，设置在X射线管与准直器之间；

射线检测器，用于接收X射线照射到被测物质后发出的荧光信号，并将该荧光信号转化为电信号；

中压电源；与所述射线检测器相连接，提供给所述射线检测器工作电源；

前置放大器、主放大器、多道分析器与中央控制电路顺序连接，所述电信号依次通过所述前置放大器、主放大器、多道分析器后到达中央控制电路，由中央控制电路采集；

计算机，与所述中央控制电路相连接，接收所述中央控制电路采集的电信号并进行数据处理与计算，获得被测物质的测量结果；

低压电源，分别与所述前置放大器和主放大器相连，提供所述前置放大器、主放大器、多道分析器、中央控制电路和计算机的工作电源。

2.根据权利要求1所述的镀层厚度测量装置，其特征在于，所述射线安全联锁机构包括：

检测室光电开关传感器，设置在检测室，与所述中央控制电路相连接，用以将检测到的检测室的门开关状况信号传递给所述中央控制电路；

外壳光电开关传感器，设置在所述镀层厚度测量装置的外壳部分，与所述中央控制电路相连接，用以将检测到的所述镀层厚度测量装置的外壳开关状况信号传递给所述中央控制电路；

X射线管温度传感器，设置在X射线管，与所述中央控制电路相连接，用以将检测到的X射线管的温度信号传递给所述中央控制电路；

执行机构，与所述中央控制电路相连接，由中央控制电路控制，所述执行机构还与所述高压电源相连接；

螺线管，与所述执行机构相连接，由所述执行机构驱动。

3.根据权利要求1或2所述的镀层厚度测量装置，其特征在于：所述射线检测器为Si-PIN半导体射线检测器。

4.根据权利要求1或2所述的镀层厚度测量装置，其特征在于，还包括：

滤光片，设置于被测物质与所述射线检测器之间，供所述荧光信号通过。

5.根据权利要求1或2所述的镀层厚度测量装置，其特征在于，还包括：

工业相机，所述的工业相机位于被测物质的正下方，直接通过图像监测被测物质的测量位置。