[实用新型]一种用于扫描电镜分析的样品座

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种样品座，特别涉及一种适用于扫描电镜非规则样品分析的专用样品座。

背景技术

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。可进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量等。

在进行扫描电镜形貌观察及能谱分析时，所需的样品台为不同直径的圆台，此圆台通过螺杆安装在扫描电镜样品室上的底座上。由于此圆台为一平面，因此在对一些非规则样品进行扫描电镜分析时，只能依靠导电胶等将样品固定在样品台上。由于在分析的过程中，导电胶的粘性逐渐降低，其固定作用逐渐减弱，尤其是在对样品进行X、Y、Z各个方向的移动时，样品会有明显的晃动，这对扫描电镜形貌观察非常不利。

为了有效地对此类非规则样品进行扫描电镜分析，提高成像质量，克服现有样品台的不足，本发明技术提供了一种用于扫描电镜分析的专用样品座，该样品座安装于扫描电镜的圆台上。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于扫描电镜分析的专用样品座，主要解决现有样品座对于非规则试样固定不牢固的技术问题。该样品座可对非规则的的样品进行扫描电镜分析，操作简单、快捷，且成像质量高。

本实用新型是这样实现的：一种用于扫描电镜分析的专用样品座，包括有底座，其特征是，所述底座为凹型座，其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆，两侧面中部位置各开有至少一个螺孔，配有用于固定样品的螺杆。当检测片状试样时，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用底座、螺杆和弹簧片组合固定样品的构造形式，可以通过多种方式对不同形状的非规则样品进行固定，操作简单，取用快捷，拆卸方便，解决了扫描电镜分析过程中因样品晃动造成成像质量差的难题。

附图说明：

图1为本实用新型主视图。

图2为本实用新型俯视图。

图中：1-底座，2-固定样品的螺杆，3-连接扫描电镜样品台的螺杆，4-螺旋弹簧片。

具体实施方式：

参见图1、图2，一种用于扫描电镜分析的样品座，包括底座1，所述底座1为凹型座，其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆3，两侧面中部位置各开有2个螺孔，配有用于固定样品的螺杆2。当检测片状试样时，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片4。

用于扫描电镜分析的样品座，通过固定样品的螺杆2和螺旋弹簧片4对不同类型的样品进行固定。如对于冷轧板断口试样，只要将样品夹入螺旋弹簧片内即可。对于不规则的失效分析用样品，可将其置于底座1上，利用两侧面的4个固定样品的螺杆2对样品进行固定。

本实用新型可对不同形状、不同规格的样品进行固定，结构简单，取用快捷，有效地解决了扫描电镜分析时因进行X、Y、Z轴的移动而引起的样品晃动导致成像质量差的问题。