[实用新型]一种多光程干涉仪

权利要求书

1.一种多光程干涉仪，包括依次设置于光的传播路线上的分束器、动臂组件和静臂组件，所述动臂组件和静臂组件设置于分束器的出射光路上；其特征在于：所述动臂组件包括角镜和折返镜组；所述折返镜组设置于所述角镜的出射光路上。

2.根据权利要求1所述的多光程干涉仪，其特征在于：所述角镜为一个或多个立方角镜；所述折返镜组包括多个反射器；所述反射器是第一反射器、第二反射器以及第三反射器和/或平面反射镜。

3.根据权利要求2所述的多光程干涉仪，其特征在于：所述第一反射器、第二反射器和第三反射器分别是二面角镜或立方角镜或猫眼镜。

4.根据权利要求1或2或3所述的多光程干涉仪，其特征在于：所述干涉仪还包括接收辐射源光信号的前置光学系统、汇聚第一或第二干涉信号的会聚镜、设置于会聚镜透射光路上的用于接收第一或第二干涉信号的探测器以及用于处理探测器输出信号的计算机处理系统。

5.根据权利要求4所述的多光程干涉仪，其特征在于：所述前置光学系统包括依次设置于光路上的会聚透镜、光阑和准直透镜。