[实用新型]锌还原法制备高纯多晶硅的装置

权利要求书

1.一种锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：包括通过管道顺序相连的锌熔化池、锌蒸汽稳定池、反应器、分离器、尾气管、第一尾气收集器和第二尾气收集器，在锌熔化池上连接有锌线进料管，在锌线进料管上连接有保护气进口管，在反应器上连接有SiCl₄进料管，在分离器下方连接有多晶硅收集器。

2.如权利要求1所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：所述的锌熔化池、锌蒸汽稳定池、反应器、分离器、多晶硅收集器和尾气管分别采用耐高温的高纯石英玻璃制造。

3.如权利要求1所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：所述的第一尾气收集器和第二尾气收集器分别采用耐腐蚀的不锈钢制造，并且第一尾气收集器的顶部和第二尾气收集器的顶部通过管道直线连接。

4.如权利要求1所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：所述的锌熔化池内设有加热电阻丝；所述的锌蒸汽稳定池、反应器、分离器、尾气管和多晶硅收集器的外围分别设有电热保温层；在顺序连接锌熔化池、锌蒸汽稳定池、反应器、分离器和尾气管的管道外围分别设有电热保温层；在连接分离器与多晶硅收集器的管道外围设有电热保温层。

5.如权利要求1所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：在锌蒸汽稳定池与反应器的连接管道上设有第一密封连接法兰，在反应器与分离器的连接管道上设有第二密封连接法兰，在分离器与多晶硅收集器的连接管道上设有第三密封连接法兰，在多晶硅收集器与尾气管的连接管道上设有第四密封连接法兰，在尾气管与第一尾气收集器的连接管道上设有第五密封连接法兰，在第一尾气收集器与第二尾气收集器的连接管道上设有第六密封连接法兰。

6.如权利要求1所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：所述的锌线进料管与锌熔化池之间采用耐高温橡胶密封连接；保护气进口管与锌线进料管之间采用耐高温橡胶密封连接；SiCl₄进料管与反应器之间采用耐高温橡胶密封连接。

7.如权利要求5所述的锌还原法制备高纯多晶硅的装置，其特征在于：所述的各密封连接法兰分别采用榫密封连接。