[实用新型]光刻胶涂覆设备

权利要求书

1.一种光刻胶涂覆设备，包括涂覆基台和涂胶杆，其特征在于，还包括：

前导件，位于所述涂覆基台上所述涂胶杆从静止处到开始匀速移动处的下方；所述前导件的尾端位于所述涂覆基台上所述涂胶杆开始匀速移动处的下方；

后导件，位于所述涂覆基台上所述涂胶杆从开始减速处到停止处的下方；所述后导件的开始端位于所述涂覆基台上所述涂胶杆开始减速处的下方。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述前导件为前导板。

3.根据权利要求2所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，还包括：

前置槽，位于所述前导板的下方，内设置有光刻胶剥离液；

前置空气喷嘴，位于所述前导板背离所述后导板的一侧，并朝向所述前导板。

4.根据权利要求3所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，还包括：

前置旋转件，包括旋转臂及固定臂，所述旋转臂的一端与所述固定臂活动连接，另一端与所述前导板固定垂直连接；

所述前置槽中光刻胶玻璃液液面的距离小于等于所述旋转臂的长度。

5.根据权利要求1所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述前导件为前导槽。

6.根据权利要求5所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述前导槽的槽内底面为倾向于与所述涂胶杆移动方向垂直的一侧的斜面；

所述光刻胶涂覆设备还包括：

前置胶盒，位于所述斜面向下倾斜的一侧，与所述前导槽内部导通。

7.根据权利要求1所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述后导件为后导板。

8.根据权利要求7所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，还包括：

后置槽，位于所述后导板的下方，内设置有光刻胶剥离液；

后置空气喷嘴，位于所述后导板背离所述前导板的一侧，并朝向所述后导板。

9.根据权利要求8所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，还包括：

后置旋转件，包括旋转臂及固定臂，所述旋转臂的一端与所述固定臂活动连接，另一端与所述后导板固定垂直连接；

所述后置槽中光刻胶玻璃液液面的距离小于等于所述旋转臂的长度。

10.根据权利要求1所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述后导件为后导槽。

11.根据权利要求10所述的光刻胶涂覆设备，其特征在于，所述后导槽的槽内底面为一斜面，沿所述后导槽的长度方向向下倾斜；

所述光刻胶涂覆设备还包括：

后置胶盒，位于所述斜面向下倾斜的一侧，与所述后导槽内部导通。