[实用新型]扩散炉的三氯氧磷自动补液装置

权利要求书

1.一种扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，包括三氯氧磷储液罐(1)、源瓶(6)，其特征在于三氯氧磷储液罐(1)与源瓶(6)之间由带有截止阀的管道连通，管道的下端伸入源瓶(6)内，管道的底端出液孔距源瓶底部之间的距离基本上等于源瓶内设定的液面高度。

2.根据权利要求1所述的扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，其特征在于所述管道由耐腐蚀软管(31)和硬管(32)组成。

3.根据权利要求1或2所述的扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，其特征在于所述三氯氧磷储液罐(1)高于源瓶(6)并倒置，即罐口朝下，通过截止阀一(21)与耐腐蚀软管(31)上端连接，截止阀二(22)的进口与耐腐蚀软管(31)下端连接，截止阀二(22)的出口与耐腐蚀硬管(32)上端连接，硬管(32)下端伸入源瓶(6)内。

4.根据权利要求2所述的扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，其特征在于硬管(32)的底端出液孔(321)设置于底端的侧部。

5.根据权利要求1所述的扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，其特征在于源瓶(6)还设置有伸入源瓶内鼓泡进气管(5)，源瓶的顶部还设置有出气管(4)。

6.根据权利要求1或5所述的扩散炉的三氯氧磷自动补液装置，其特征在于源瓶(6)、硬管(32)、鼓泡进气管(5)和出气管(4)均为石英材料，并在制作时熔接为一体。