[实用新型]一种检漏仪真空系统

权利要求书

1.一种检漏仪真空系统，包括     检漏口（3），放置被检件；     质谱室（5），检测示漏气体，在所述质谱室（5）与所述检漏口（3）之间的气路通道上设置有阀门；     真空泵机构，用于对所述检漏口（3）和所述质谱室（5）抽真空，在所述真空泵机构与所述检漏口（3）之间的气路通道上设置有阀门；     其特征在于：所述质谱室（5）与所述检漏口（3）之间的气路通道，和所述质谱室（5）与所述真空泵机构之间的气路通道连接并形成节点（9），在所述节点（9）与所述质谱室（5）之间的气路通道上也设置有阀门。

2.根据权利要求1所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述真空泵机构包括前级低真空泵（1）和高真空泵（7）；在所述前级低真空泵（1）和所述高真空泵（7）之间的气路通道上设置有检漏阀（8）。

3.根据权利要求2所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述节点（9）与所述质谱室（5）之间气路通道上的阀门为高真空阀（6）。

4.根据权利要求3所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述质谱室（5）与所述检漏口（3）之间气路通道上的阀门为精检阀（4）。

5.根据权利要求4所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述前级低真空泵（1）和所述检漏口（3）之间气路通道设有预抽阀（2）。

6.根据权利要求2-5任一所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述检漏阀（8）、所述高真空阀（6）、所述预抽阀（2）和所述精检阀（4）均为电磁阀。

7.根据权利要求6所述的检漏仪真空系统，其特征在于：所述高真空泵（7）为分子泵，所述前级低真空泵（1）为机械泵。