[实用新型]半导体测试仪及其半导体测试台

权利要求书

1.一种半导体测试台，其特征在于，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的位移方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。

2.如权利要求1所述的半导体测试台，其特征在于，所述导轨装置具体为水平设置且相互垂直的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨可滑动的设置于固定设置的所述第二导轨的上表面，所述平台装置可滑动的设置于所述第一导轨的上表面；且所述驱动装置包括驱动所述平台装置沿所述第一导轨直线位移的第一驱动装置及驱动所述第一导轨沿所述第二导轨直线位移的第二驱动装置。

3.如权利要求2所述的半导体测试台，其特征在于，所述平台装置包括底盘、升降平台、设置于所述底盘和所述升降平台之间且与所述底盘固定连接的竖直导轨及驱动所述升降平台沿所述竖直导轨上下位移的第三驱动装置；且所述底盘与所述第一驱动装置的动力输出端相连接。

4.如权利要求3所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一导轨的下表面设置有第一滑块，所述第二导轨的上表面设置有与所述第一滑块相适配的第一滑槽，所述第一导轨通过相适配的所述第一滑块与所述第一滑槽可滑动的连接于所述第二导轨的上表面。

5.如权利要求4所述的半导体测试台，其特征在于，所述底盘的下表面设置有第二滑块，所述第一导轨的上表面设置有与所述第二滑块相适配的第二滑槽，所述底盘通过相适配的所述第二滑块与所述第二滑槽可滑动的连接于所述第一导轨的上表面。

6.如权利要求5所述的半导体测试台，其特征在于，还包括平行于所述第二导轨设置的辅助支撑滑轨，且所述第一导轨可滑动的设置于所述辅助支撑滑轨的上表面。

7.如权利要求6所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均为直线电动机。

8.如权利要求6所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均具体为包括液压泵及由所述液压泵 提供油压的液压缸的驱动装置。

9.一种半导体测试仪，包括盖板、测试座及固定设置于所述测试座的下表面的测试针，其特征在于，所述测试座固定设置于所述盖板的下方，且所述测试座的下方设置有如权利要求1-7任一项所述的半导体测试台。

10.如权利要求9所述的半导体测试仪，其特征在于，所述盖板设置有判断所述测试针是否与待测体相对位的光检测装置，所述半导体测试仪还包括对所述光检测装置提供的判断信号作出处理并形成控制信号以控制三个所述直线电动机的信号处理装置。