[实用新型]用于高温炉的排气管道和高温炉有效
| 申请号： | 201020664208.0 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN201915142U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杨志平 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高温 排气 管道 | ||
1.一种用于高温炉的排气管道，所述高温炉包括一高温腔室，其特征在于，所述排气管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道与高温腔室连通，所述第二管道与第一管道连通，所述第二管道的内径大于第一管道的内径。
2.如权利要求1所述的用于高温炉的排气管道，其特征在于，所述第二管道的最大内径为15cm～30cm，所述第一管道的内径为10cm～15cm。
3.如权利要求1所述的用于高温炉的排气管道，其特征在于，所述第二管道的形状为漏斗状。
4.如权利要求1所述的用于高温炉的排气管道，其特征在于，所述排气管道还包括与第二管道连通的第三管道，所述第三管道的内径与第一管道相同。
5.一种高温炉，包括高温腔室和排气管道，其特征在于，所述排气管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道与高温腔室连通，所述第二管道与第一管道连通，所述第二管道的内径大于第一管道的内径。
6.如权利要求5所述的高温炉，其特征在于，所述第二管道的最大内径为15cm～30cm，所述第一管道的内径为10cm～15cm。
7.如权利要求5所述的高温炉，其特征在于，所述第二管道的形状为漏斗形。
8.如权利要求5所述的高温炉，其特征在于，所述第二管道的长度为30cm～50cm，所述第一管道的长度为80cm～120cm。
9.如权利要求5所述的高温炉，其特征在于，所述排气管道还包括与第二管道连通的第三管道，所述第三管道的内径与第一管道相同。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020664208.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
