[实用新型]纳米级微位移光杠杆激光测量系统

权利要求书

1.一种纳米级微位移光杠杆激光测量系统，它由弹簧-质量块-阻尼系统、位移检测系统和电控和信号处理系统组成，其特征在于：所述的弹簧-质量块-阻尼系统包括由矩形钢片构成的悬臂梁（1），悬臂梁（1）一端连接质量块（2），所述的质量块上粘结平面镜A（3）；所述的位移检测系统包括光源（4）、光杠杆和光电探测器（6），所述的光杠杆由两个等长的平行设置的平面镜A（3）和平面镜A＇（5）组成，平面镜A＇（5）固定在二维调节支架（7）上。

2.根据权利要求1所述的纳米级微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述的质量块为铝块。

3.根据权利要求1所述的纳米级微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述的光电探测器（6）采用半导体光电位置敏感器件。

4.根据权利要求1所述的纳米级微位移光杠杆激光测量系统，其特征在于：所述的二维调节支架（7）包括底板（8），底板（8）上设置L型契型支架（9）和契型支架（15）；所述L型契型支架（9）的底边上设置顶丝（11），顶丝（11）的另一端连接契型支架（15）；所述L型契型支架（9）的楔形边上设置梯形滑轨（14），契型支架（15）滑动设置在梯形滑轨（14）中。