[实用新型]扩散炉的尾气处理系统管道装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉,尤其涉及扩散炉的尾气处理系统管道装置。

背景技术

扩散炉是用于半导体扩散（掺杂）工艺的一种专用设备，其原理是：在高温环境下，通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形成PN结。扩散的过程是在石英腔体内进行的，对于磷扩散，腔体内部不断流入携带有三氯氧磷的气体，反应后形成的废气通过排气口进入尾气处理系统，进行冷凝和过滤。在废气收集过程中，由于废气中含有偏磷酸，它很容易堆积在石英管的接头处，若时间过长可能堵塞管口；同时若石英管的接头密封性不好，也容易泄露到环境中。

发明内容

为了克服上述缺点，本实用新型提供了一种具有少偏磷酸环境、防止石英管口堵塞、密封性好、使用寿命长的扩散炉的尾气处理系统管道装置。

本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置包括：废液瓶、石英管一、石英管二、球头、聚四氟乙烯球面垫块、球碗和接头夹子；其中废液瓶之间通过石英管一与石英管二连接，石英管一在与石英管二连接的一端为球碗，石英管二在与石英管一连接的一端为球头，球头与球碗之间设置有聚四氟乙烯球面垫块，接头夹子的两个夹脚分别设置在球头与球碗相向的两端，其方向为石英管的轴线方向。

本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置具有良好的密封性，且聚四氟乙烯的球面垫块表面光滑，使偏磷酸就不易在接头处沉积，防止石英管口的堵塞，提高了尾气处理系统的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置的示意图。

图2为图1中所示石英管一与石英管二连接处的结构图。

图中编号说明:

1-球头；2-聚四氟乙烯球面垫块；3-球碗；4-接头夹子；5-石英管一；6-石英管二；7-废液瓶。

具体实施方式

结合图1至图2对本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置进行详细说明。

本实用新型所述本实用新型所述扩散炉的尾气处理系统管道装置，包括废液瓶7、石英管一5、石英管二6、球头1、聚四氟乙烯球面垫块2、球碗3和接头夹子4；其中废液瓶7之间通过石英管一5与石英管二6连接，石英管一5在与石英管二6连接的一端为球碗3，石英管二6在与石英管一5连接的一端为球头1，球头1与球碗3之间设置有聚四氟乙烯球面垫块2，接头夹子4的两个夹脚分别设置在球头1与球碗3相向的两端，其方向为石英管的轴线方向，即接头夹子4施加加紧力将石英管一与石英管二的接头加紧，起到良好的密封作用。