[实用新型]一种平板式等离子镀膜设备除尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及平板式等离子镀膜设备技术领域，更具体的是涉及一种去除平板式等离子镀膜设备灰尘的装置。

背景技术

目前，光学器件，太阳电池及半导体等行业都需要用到平板式等离子镀膜设备，该设备的工作原理是：在密闭的真空腔体内，通入不同的可反应的气体，通过等离子放电发后激发气体产生化学反应形成所需要的化合物沉积到需要镀膜的工件表面。这个设备的优点在于能够大量生产，膜层均匀稳定，致密性好。但是目前此设备都有一个共性的问题，流水线生产中，在密闭轻体内会沉积较厚的镀膜成分，形成污染，镀膜完成后掉落在工件表面，对于光学器件或太阳能，半导体等行业来说，这样的污染必然影响产品品质。并且受流水线生产的限制，没有足够的时间打开真空腔体进行清洁维护或通入腐蚀气体将不需要的沉积层去除。

发明内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术之不足而提供的一种不仅结构简单合理、使用方便，而且能解决等离子镀膜设备流水线生产过程中，共性的灰尘沾染问题的平板式等离子镀膜设备除尘装置。

本实用新型是采用如下技术解决方案来实现上述目的：一种平板式等离子镀膜设备除尘装置，设置在平板式镀膜设备的出口处，其特征在于，它包括一垂直于载板移动方向的风刀，风刀设置在一端密闭的管上，该管外接空气压缩机。

作为上述方案的进一步说明，所述管的侧面设置吹风口以吹除灰尘并按设计方向移动，载板的下方风刀吹扫方向的延长线上设置吸尘口，吸尘口上安装吸尘器。

所述吸尘器采用负压吸尘装置。

所述风刀的吹扫方向与载板平面呈30-60度夹角。

所述载板外侧设置有位置传感器，该位置传感器控制空气压缩机的压缩空气电磁阀门开闭。

本实用新型采用上述技术解决方案所能达到的有益效果是：

本实用新型采用在平板式镀膜设备的出口处，增加一个垂直于载板移动方向的风刀，该风刀的原理是在一端密闭的管上，在特定方向上开口，通入压缩空气后，气体从管的侧面吹出，以吹除灰尘并按设计方向移动，掉落在与之配合的吸尘口处，由吸尘器吸走。此方法结构简单，装置可在载板运行到出料口时自动启动，有效的去除镀膜工件表面灰尘，并且在流水线生产过程中，不增加额外的手动操作和影响节拍时间。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

附图标记说明：1、平板式镀膜设备  2、载板  3、风刀  4、吸尘器 。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型一种平板式等离子镀膜设备除尘装置，设置在平板式镀膜设备1的出口处，它包括一垂直于载板2移动方向的风刀3，风刀3设置在一端密闭的管上，该管外接空气压缩机。管的侧面设置吹风口以吹除灰尘并按设计方向移动，风刀吹扫方向的延长线上设置吸尘口，吸尘口上安装吸尘器4。吸尘器一般采用负压吸尘装置。风刀的吹扫方向与载板平面呈30-60度夹角。载板外侧设置有位置传感器，该位置传感器控制空气压缩机的压缩空气电磁阀门开闭。

使用过程中，载板运行到出料口时，被位置传感器感应到，控制压缩空气电磁阀门打开，压缩空气从风刀口吹出，对镀膜后的物件进行吹扫，配合安装在载板下方的吸尘装置将吹下的灰尘吸走，以达到去除回程的效果。

以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。