[实用新型]薄膜层边缘清除机构无效
申请号: | 201020667216.0 | 申请日: | 2010-12-20 |
公开(公告)号: | CN201966235U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 杨明生;范继良;刘惠森;蓝劾;余超平;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 边缘 清除 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种清除机构,尤其涉及一种利用激光器对太阳能电池基板的薄膜层边缘进行清除的机构。
背景技术
太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源。也是清洁能源,不产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用当中;大阳能光电利用是近些年来发展最快,最具活力的研究领域,是其中最受瞩目的项目之一。薄膜太阳电池作为太阳能的应用设备,可以使用在价格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨,金属片等不同材料当基板来制造,形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米,目前转换效率最高以可达13%。薄膜电池太阳电池除了平面之外,也因为具有可挠性可以制作成非平面构造其应用范围大,可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份,应用非常广泛。在薄膜太阳电池中,非晶硅薄膜太阳能电池因为其成本低,且工艺成熟,发展迅猛,成为目前最成熟的技术,非晶硅(a-Si)太阳电池是在玻璃(glass)衬底上沉积透明导电膜(TCO),然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si,接着再蒸镀金属电极铝(Al).光从玻璃面入射,电池电流从透明导电膜和铝引出,其结构可表示为glass/TCO/pin/Al,还可以用不锈钢片、塑料等作衬底。
随着人们对能源的需求量日益增大,太阳能电池作为新兴的环保资源,其应用越来越广泛,相应地,太阳能电池制造产业也引起广阔的应用前景而不断发展壮大。镀膜是薄膜太阳能电池生产过程中一个必备工艺流程,薄膜太阳能电池镀膜时容易产生周边的镀膜不完整的缺陷,其薄膜层边缘具有不均匀性,容易剥落,会影响到后续工艺,影响电池板的性能和最终的成品封装。激光蚀刻是一种能在非晶硅薄膜太阳能电池的四周5~10毫米带状区域用激光蚀刻掉薄膜层的边缘的新兴技术,能有效保证太阳能电池片大小统一完整封装,保证良好的绝缘性与成品制作。然而现有的太阳能电池基板的薄膜层的激光蚀刻设备结构复杂,生产效率低,蚀刻精度不高,因此,有必要一种高效可靠、能快速有效清除太阳能电池基板的薄膜层的边缘的清除机构来解决上述需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高效可靠、能快速有效清除太阳能电池基板的薄膜层的边缘,提高成品质量的薄膜层边缘清除机构。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案为:提供一种薄膜层边缘清除机构,适用于对太阳能电池基板上的薄膜层的边缘进行清除,其包括激光器、Y轴轨道、两X轴轨道、两滑台、至少两推动装置及至少两夹持装置,两所述X轴轨道沿X轴方向呈水平置放并相互平行设置,所述基板位于两所述X轴轨道之间并沿X轴方向传输,所述基板上的薄膜层向下,所述滑台与所述X轴轨道滑动连接,所述夹持装置对称固定在所述滑台上并对基板的边缘进行夹持和释放,所述推动装置对称固定在所述滑台上并沿Y轴方向对所述基板进行水平推动,所述Y轴轨道垂直横跨两所述X轴轨道并位于所述滑台、基板的上方,所述激光器与所述Y轴轨道滑动连接,所述激光器具有激光头且所述激光头位于所述基板的上方,所述激光头正对所述基板的边缘。
较佳地,还包括吸尘槽及负压吸尘器,所述吸尘槽沿Y轴轨道设于两所述X轴轨道之间并位于所述基板的下方,所述激光头正对所述吸尘槽。所述负压吸尘器的吸尘口与所述吸尘槽连通。薄膜层的所有边缘都在吸尘槽上边被蚀刻,随重力自然飘落的尘粉被负压吸尘器及时吸走,能低能高效完成除尘功能,及时排除蚀刻完成的薄膜尘粉,高度清洁,提高成品质量。
较佳地,所述激光器位于所述X轴轨道的中部。由于基板需随滑台与X轴轨道的滑动最终实现基板四周边缘的蚀刻,X轴轨道的长度需大于基板沿前进方向的长度,将激光器设置于X轴轨道的中部,能最大范围减小X轴轨道的长度,减小占地面积,节约设备资源,降低成本,使薄膜层边缘清除机构更加紧凑。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的