[实用新型]激光刻线除尘装置

权利要求书

1.一种激光刻线除尘装置，适用于在激光发生器对非晶硅太阳能玻璃基板上的膜层表面进行蚀刻的过程中进行除尘，所述激光刻线除尘装置包括控制单元、加工单元及除尘单元，所述加工单元及所述除尘单元均与所述控制单元连接，所述加工单元包括气浮平台、激光器轨道、激光器移动机构及激光发生器，所述非晶硅太阳能玻璃基板承载于所述气浮平台上方且膜层向下，所述激光发生器滑动设置于所述激光器轨道上，所述激光器移动机构带动所述激光发生器在所述激光器轨道上移动，所述激光发生器的出光孔位于所述非晶硅太阳能玻璃基板的上方，其特征在于：所述除尘单元包括负压吸尘器及同步传动机构，所述同步传动机构设置于所述气浮平台的下方，所述负压吸尘器的负压吸嘴安装于所述同步传动机构上且正对所述激光发生器的出光孔，所述同步传动机构带动所述负压吸尘器的负压吸嘴与所述激光发生器的出光孔同步移动，实现对膜层的蚀刻与除尘同步。

2.如权利要求1所述的激光刻线除尘装置，其特征在于：所述除尘单元还包括安装座，所述安装座设置于所述同步传动机构上，所述负压吸尘器的负压吸嘴安装于所述安装座上。

3.如权利要求2所述的激光刻线除尘装置，其特征在于：所述同步传动机构包括电机、同步轮及同步带，所述同步带安装于所述同步轮上且与所述激光器轨道相互平行，所述电机与所述同步轮连接，所述电机通过所述同步轮带动所述同步带运动，所述安装座固定连接于所述同步带上。

4.如权利要求1所述的激光刻线除尘装置，其特征在于：所述加工单元还包括安装平台及至少两抓手，所述安装平台上设置有两相互平行的抓手轨道，所述抓手轨道位于所述激光器轨道下方且与所述激光器轨道相垂直，所述抓手分别滑动连接于两所述抓手轨道上，所述抓手用于抓取所述非晶硅太阳能玻璃基板并沿所述抓手轨道移动。

5.如权利要求4所述的激光刻线除尘装置，其特征在于：所述加工单元还包括至少两直线气缸，所述直线气缸分别安装于所述抓手轨道上。

6.如权利要求5所述的激光刻线除尘装置，其特征在于：所述加工单元还包括滑动台，所述直线气缸及所述抓手均通过所述滑动台安装于所述抓手轨道上。