[实用新型]一种用于取单晶的支架保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于取单晶的支架保护装置，该支架保护装置适用于各种型号的单晶炉。

技术背景

随着半导体用单晶的不断发展，用切克劳斯基(Czochralski)法拉制的硅单晶尺寸越来越大，相应的单晶炉的炉筒直径也越来越大，这就导致了单晶拉制完成后取单晶越来越复杂，越来越有不安全性。

取大直径单晶时，首先要把单晶降到足够低的位置，升起上炉室，然后作业人员手臂伸进炉筒，剪断籽晶，最后移开上炉室，用起重设备提起单晶棒。在这个过程中，人手臂伸进炉筒时，如果由于设备故障等原因上炉室突然掉下，不但损坏单晶，更重要的是砸伤作业人员，酿成安全事故。所以需要发明一个取单晶的保护装置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种用于取单晶的支架保护装置，使用本装置可保证作业的安全。

为达到上述的目的，本实用新型采用以下技术方案；

这种用于取单晶的支架保护装置，其特征在于：它包括：支架、支块、把手，所述的支架为一弧形板，板的一侧设有上平台及下平台，上平台的下平面设凹槽I，其下平台设螺纹孔II，支架与支块连接，把手与支架相连接。

其中支架是用不锈钢焊接而成，支块采用有一定的强度和弹性材料制成，例如木头等。

支架和支块用两个长螺栓连接，支架与把手用两个螺栓连接，

使用时将支架用紧顶螺钉顶紧在炉筒上。弧形板的弧度视炉筒的直径而定，其弧度在15度至20度之间，所述的支块的长度决定于本装置使用时采用几个保护装置，一般用3个本装置即可。

本实用新型的优点是大大提升了取单晶的安全性。

附图说明

图1工作状态剖面图

图2工作状态右视图

图3支架剖视图

图4支架右视图

图5支架俯视图

图6支块正视图

图7工作布置图

具体实施方式

如图1和图2所示整个保护装置包括支架1、支块2、紧顶螺钉5、螺栓6和把手7等组成。

如图3所示，整个支架由不锈钢焊接而成，支架上平台的下平面设凹槽I，其下平台设螺纹孔II，凹槽I是为了在使用时不损坏炉筒上沿的密封圈3，下平台的螺纹孔是为了与紧顶螺钉配合使用，支架的上半部分有四个螺纹孔a1、a2、b1、b2，其中a1、a2是与支块连接使用的，b1、b2是用来安装把手用的。图4是支架的右视图，图5是支架的俯视图。

图6是支块视图，它采用有一定的强度和弹性材料制成，例如木头、四氟等，支块中有两个通孔C1、C2，它与支架用两个长螺钉连接。

如图2所示，为了便于取用和安装设计了把手7，把手7与支架1用两个螺栓8连接。

图7是工作布置图，其中3套保护装置沿圆周均匀布置，其它数量的保护装置布置方式视需要而定。