[实用新型]一种扩散炉的炉门结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制备工艺技术领域，尤其涉及一种扩散炉的炉门结构。

背景技术

扩散炉作为半导体制备过程中的重要设备之一，广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业。扩散炉是民用重要设备，也是军事材料生产的必不可少重要设备之一。

扩散炉的炉门需要较好的密封，目前使用的扩散炉炉门结构多与推舟进行一体化设置，将推舟推入石英管之后，炉门封闭炉口；推舟从石英管中推出后，扩散炉的炉口处于敞开状态。

扩散炉的炉口处于敞开状态，将导致炉内热量向外扩散、增大扩散炉的热量损失，同时增加了扩散炉的加热功率和用电量，而且扩散的热量会对室内环境产生热辐射。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种扩散炉的炉门结构，该炉门结构与推舟为分体设置，可以减小扩散炉的热量损失，降低扩散炉的加热功率和用电量，同时减小室内环境的热辐射。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种扩散炉的炉门结构，包括：固定装置、耳轴座、支板、动力装置、悬臂和石英门；

所述耳轴座和所述支板分别固定连接于所述固定装置；

所述悬臂与所述支板铰接；

所述动力装置的主体与所述耳轴座铰接；

所述动力装置的动作机构可做伸缩运动，并与所述悬臂铰接；

所述石英门铰接于所述悬臂的内侧面，所述内侧面为所述悬臂与所述扩散炉的炉口平行时，所述悬臂上与所述炉口相对的侧面。

优选的，在上述炉门结构中，所述动力装置为气缸，所述气缸的缸筒与所述耳轴座铰接，所述气缸的活塞杆与所述悬臂铰接。

优选的，在上述炉门结构中，进一步包括I型肘接头，所述I型肘接头的一端与所述活塞杆螺纹连接，另一端与所述悬臂铰接。

优选的，在上述炉门结构中，所述动力装置为液压缸，所述液压缸的缸筒与所述耳轴座铰接，所述液压缸的活塞杆通过I型肘接头与所述悬臂铰接。

优选的，在上述炉门结构中，进一步包括I型肘接头，所述I型肘接头的一端与所述活塞杆螺纹连接，另一端与所述悬臂铰接。

由此可见，本实用新型公开的扩散炉的炉门结构，与推舟采用分体式设计，当推舟从石英管中推出后，石英门可以在动力装置的作用下关闭，对石英管进行密封，减少扩散炉的炉内热量向外部空间扩散，降低扩散炉的热量损失，进而减小扩散炉的加热功率和用电量，并降低室内环境的热辐射。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例，下面将对实施例中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型公开的一种扩散炉的炉门结构在开启状态的俯视图；

图2为图1所示炉门结构在关闭状态的俯视图；

图3为图1所示炉门结构安装于扩散炉在开启状态的俯视图；

图4为图1所示炉门结构安装于扩散炉在关闭状态的俯视图；

图5为图1所示炉门结构的部分主视结构图；

图6为本实用新型公开的另一种扩散炉的炉门结构的在开启状态的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护范围。

本实用新型公开了一种扩散炉的炉门结构，该炉门结构与推舟为分体设置，可以减小扩散炉的热量损失，降低扩散炉的加热功率和用电量，同时减小室内环境的热辐射。

参见图1、图2、图3和图4，图1为本实用新型公开的一种扩散炉的炉门结构在开门状态的俯视图，图2为图1所示炉门结构在关闭状态的俯视图，图3为图1所示炉门结构安装于扩散炉在开启状态的俯视图，图4为图1所示炉门结构安装于扩散炉在关闭状态的俯视图。

该炉门结构包括：固定装置1、耳轴座2、支板3、动力装置4、悬臂5和石英门6。