[实用新型]一种气体压力稳定装置

权利要求书

1.一种气体压力稳定装置，该装置包括圆柱形的气罐(1)，在气罐(1)上方固定有平板(2)；气罐(1)一端连接气体输入管(34)，另一端连接气体输出管(30)；阀座(33)上安装阀门(32)后装于气体输入管(34)或气体输出管(30)一端；阀门(32)另一端对应设置在气罐(1)内的阀门体(31)；阀门体(31)连接阀门杆(29)，阀门杆(29)上端连接设置在平板(2)上的转叉(3)；其特征在于：

在平板(2)上固定有膜片(26)，平板(2)对应膜片(26)处开有通孔，通过该通孔使得气罐(1)与膜片(26)相通；膜片(26)上方罩有零位腔盖(23)；

下针形杆(24)放置在零位腔盖(23)内，呈“∏”形的传感器杠杆(12)的一个支腿固定在零位腔盖(23)侧壁，下针形杆(24)的底端放在膜片(26)上表面，下针形杆(24)的顶端顶着上述传感器杠杆(12)的一个支腿；

呈“∏”形的传感器杠杆(12)的另一个支腿设在零位腔盖(23)上方，上针形杆(9)的底端放置在该支腿上表面，上针形杆(9)的顶端顶着小杠杆(11)一端；小杠杆(11)另一端搭在小球(16)上；小球(16)放置在气流管(20)上；气流管(20)上方对应大杠杆(7)的一端，大杠杆(7)的另一端连接转叉(3)；

气流管(20)下部放置于伺服装置(19)内，在伺服装置(19)内、气流管(20)下部固定有盘座(21)，通过固定在盘座(21)上的伺服装置弹簧箱(18)伸长或收缩带动盘座(21)动作，从而带动气流管(20)在伺服装置(19)壳体内上下移动；伺服装置(19)底端连接压缩空气管(22)。

2.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：在平板(2)上固定有罩壳(4)，膜片(26)、零位腔盖(23)、下针形杆(24)、传感器杠杆(12)、上针形杆(9)、小杠杆(11)、气流管(20)、伺服装置(19)、大杠杆(7)以及转叉(3)放置在罩壳(4)内。

3.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：在膜片 (26)和零位腔盖(23)之间设有膜上弹簧(25)。

4.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的小杠杆(11)中间位置有支点二(14)，小杠杆(11)左右二边绕支点二(14)上下摆动；所述的大杠杆(7)中间位置有支点一(10)，大杠杆(7)左右二边绕支点一(10)上下摆动；在大杠杆(7)和零位腔盖(23)之间连接有平衡弹簧(13)，以控制大杠杆(7)摆动量；在大杠杆(7)与转叉(3)连接处设有闭合弹簧(5)，以确保大杠杆(7)与转叉(3)的有效连接；在小杠杆(11)与大杠杆(7)间设置有恢复弹簧(15)，以使小杠杆(11)摆动量受到抑制。

5.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的“∏”形的传感器杠杆(12)端部连接远距离调整弹簧(8)，远距离调整弹簧(8)另一端连接传动机构(6)，传动机构(6)连接带电动机的减速器(28)。

6.根据权利要求5所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的带电动机的减速器(28)处设有接圆光栅编码器(27)。

7.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：由膜片(26)和零位腔盖(23)构成的零位腔连接一根气体管路，通过该气体管路始终保持零位腔内的压力为一恒定值且压力小于100Pa。

8.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的气流管(20)上部设有光栅位移传感器(17)。

9.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的膜片(26)采用铍青铜材料制成。

10.根据权利要求1所述的一种气体压力稳定装置，其特征在于：所述的气罐(1)、阀座(33)、阀门(32)、阀门杆(29)和平板(2)均采用碳钢制成后先镀铜再镀镍，或者采用不锈钢制成。