[实用新型]固定研磨料的化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种固定研磨料的化学机械研磨设备，包括承载台、设置在所述承载台上的研磨垫、设置在所述承载台一侧下方的输入端卷轴、设置在所述承载台另一侧下方的输出端卷轴、与所述输出端卷轴设置在同一侧的输出端转轴、以及研磨料织网，其特征在于，还包括第一输入端转轴和第二输入端转轴，所述第一输入端转轴和第二输入端转轴与所述输入端卷轴位于同一侧，所述第一输入端转轴设置在所述承载台的斜上方，所述第二输入端转轴设置在所述承载台的边缘上方，所述研磨料织网的一端缠绕在所述输入端卷轴上，其另一端通过所述第一输入端转轴、第二输入端转轴和输出端转轴缠绕在所述输出端卷轴上，所述第一输入端转轴与第二输入端转轴之间的所述研磨料织网呈下坡面，所述第二输入端转轴与所述输出端转轴之间的所述研磨料织网水平设置在所述研磨垫上。

2.如权利要求1所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，所述研磨料织网支撑在所述第一输入端转轴的外表面上、压在所述第二输入端转轴的外表面下。

3.如权利要求1所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一输入端转轴的最低点比所述研磨垫的上表面高，所述第二输入端转轴的最低点与所述研磨垫的上表面处于同一平面，所述输出端转轴的最高点与所述研磨垫的上表面处于同一平面。

4.如权利要求3所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一输入端转轴的最低点比所述研磨垫的上表面高1～100mm。

5.如权利要求1所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，在所述第一输入端转轴与所述承载台的边缘之间设有一挡板。

6.如权利要求5所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，在所述承载台垂直于所述第一输入端转轴的两侧各设有一挡板。

7.如权利要求6所述的固定研磨料的化学机械研磨设备，其特征在于，垂直于所述第一输入端转轴的两块挡板的顶端与所述研磨垫的上表面处于同一水平面。