[实用新型]用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板有效
申请号: | 201020683569.X | 申请日: | 2010-12-28 |
公开(公告)号: | CN201936862U | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 杨延鸿;钟添达 | 申请(专利权)人: | 扬博科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/00 |
代理公司: | 北京锐思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人: | 李涛 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 湿式制程 可调整 基材 定位 孔径 输送 | ||
技术领域
本实用新型是关于一种输送载板,尤指一种用于承载如:玻璃...等基材,使基材可透过自动化输送装置输送进行蚀刻、清洗...等湿式制程,并能适用于不同基材尺寸的基材输送载板。
背景技术
如触控面板的玻璃基板...等基材于加工制程中,通常必须经过蚀刻设备进行图案化的蚀刻步骤,及清洗设备进行表面清洗步骤....等湿式制程。于玻璃基板进行蚀刻及清洗等湿式制程前,玻璃基板均已切割成预定尺寸的单元面积,因玻璃基板于切割后,其侧边均会产生锐利的毛边,故当具有毛边的玻璃基板经过蚀刻设备或清洗设备的输送轮输送时,玻璃基板的毛边因与输送轮上的挡边接触摩擦,易自毛边产生严重的破裂情形。
此外,前述作为触控面板用途的基材是厚度约为0.5~0.8mm的薄板,其厚度薄且易碎,在进行蚀刻或清洗等湿式制程中,既有的蚀刻设备或清洗设备等对该些玻璃基板并未提供良好的防护机制,于玻璃基板的输送过程,玻璃基板切割产生毛边常与输送轮挡边接触摩擦造成毛边受损,并易于伤及玻璃基板的输出入电极的完整性,致使玻璃基板成品良率偏低。
为解决上述问题,本实用新型申请人先后曾提出如中国台湾专利证书第M372534号的「用于湿式制程的基板用输送载板」以及中国台湾专利证书第M372347号的「用于湿式制程的基板输送装置」,其中所述的输送载板是于其板体中形成复数个基板定位孔,于各基板定位孔周边孔壁下段形成复数个止挡凸部,用以提供基板置入基板定位孔中,藉由该复数个止挡凸部于基板下方支撑定位,藉此,利用该输送载板作为基板进行蚀刻、清洗等湿式制程输送时的载具,使基板藉由该输送载板于输送轮组上移动,而避免基板与输送轮直接接触磨擦而受损的情事。
前述输送载板或输送装置于实施时,确可达成前述的功效,惟本案申请人进一步发现前述输送载板中的基材定位孔为固定式的孔径设计,仅能适用于提供单一种尺寸规格的基材承载功能,故而,不同尺寸规格的基材皆须使用专用的输送载板来承载,才能进行湿式制程,以致使用者必须针对每一种尺寸规格的基材制造专用的输送载板,有耗费成本高以及储放管理不便等缺点。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是:解决现有输送载板仅适用于单一种型式的基材,无法通用于多种不同尺寸规格的基材的缺点。
本实用新型的技术解决方案是:提供一种用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板,其特征在于,其包含:
一载板本体,是形成至少一镂空状的基材定位空间,于基材定位空间周边分布形成一固定边以及三侧边,载板本体于所述侧边处各形成一下凹的容置槽,于容置槽底部形成槽底承载部,载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第一承载凸部;
三调整板体,是分别可调整定位的装设于载板本体相应的容置槽中,并为容置槽底部的槽底承载部所承载,所述调整板体邻接基材定位空间的边缘下段形成复数个第二承载凸部,所述第二承载凸部顶缘与第一承载凸部顶缘等高。
所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中,所述三调整板体上各设有至少一组定位孔群,所述定位孔群包含数个定位孔,所述数个定位孔的孔中心至调整板体邻接基材定位空间边缘的长度皆不相等;所述容置槽底部的槽底承载部各设有至少一组固定孔群,所述固定孔群包含数个固定孔,该数个固定孔呈一直线排列,且所述数个固定孔的孔中心至基材定位空间邻边边缘的长度相等,藉以利用复数螺接元件分别穿设于相应的定位孔与固定孔中,使所述调整板体分别固定于载板本体的容置槽中。
所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中,所述输送载板进一步包含三固定板体,所述固定板体的长度足以跨越载板本体的容置槽,并压抵于载板本体及调整板体顶面。
所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中,所述调整板体两侧边与载板本体的容置槽两侧的槽侧缘间藉由相应的锯齿状第一卡合部与第二卡合部凹凸啮合而能调整定位。
所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中,所述输送载板进一步包含三固定板体,所述固定板体的长度足以跨越载板本体的邻边容置槽,且压抵于载板本体及调整板体顶面,并以螺接元件予以固定。
所述的用于湿式制程的可调整基材定位孔径式输送载板中,载板本体的固定边邻接基材定位空间的边缘上段形成复数限位凸部,限位凸部与第一承载凸部上下相应,且限位凸部底缘与第一承载凸部顶缘间具有一间距,所述间距用以提供基材一侧边置入其中。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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