[实用新型]一种砂片机无效

专利信息
申请号: 201020684973.9 申请日: 2010-12-16
公开(公告)号: CN202079451U 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 陈跃骅 申请(专利权)人: 浙江旭盛电子有限公司
主分类号: B24B7/22 分类号: B24B7/22
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 舒良
地址: 324300 浙江省开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 砂片机
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种砂片机,用于硅片加工。

背景技术

当前,在硅片加工领域,经常会出现一些存在崩边、缺角等物理缺陷的硅片,一般是作为硅材料回熔处理。这种处理方式,未能充分有效地利用这些物理缺陷硅片的价值,形成了浪费,提高了硅片加工成本。

发明内容

本实用新型的目的是提供可加工具有崩边、缺角等物理缺陷的硅片的一种砂片机。

本实用新型采取的技术方案是:一种砂片机,其特征在于在机架的中间处设有凹槽状的操作台,操作台内的底部上设有砂轮,砂轮与电机相连接;在操作台内连接有喷水管,且喷水管管口位于砂轮之上;在操作台的底面上开有出水口。

采用本实用新型,可以根据硅片的缺损状况通过该机砂磨消除崩边、缺角,磨出参考面,对有缺陷的硅片进行回收利用了。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图中序号表示:机架1、操作台2、喷水管3、砂轮4、电机5和出水口6。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1,该砂片机在机架1的中间处设有凹槽状的操作台2,操作台2内的底部上设有砂轮4,砂轮4与电机5相连接;在操作台2内连接有喷水管3,且喷水管3的管口位于砂轮4之上;在操作台2的底面上开有出水口6。使用时,只要启动电机5,带动砂轮4,打开喷水管3喷水,即可开始加工具有崩边、缺角等物理缺陷的硅片,加工的碎屑会随着水从出水口6排出。这样,就可以根据硅片的缺损状况通过该机砂磨消除崩边、缺角,磨出参考面,对有缺陷的硅片进行回收利用了。

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