[实用新型]发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机无效
| 申请号： | 201020686580.1 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN201942744U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李云辉;李云松;华冬辉 | 申请（专利权）人： | 衡阳市真空机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 43101 | 代理人： | 刘勋阶 |
| 地址： | 421001 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发电 太阳能 高温 热管 卧式 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，其特征是包括圆柱形卧式上开门结构的真空室、靶安装管件、工件架、固定齿盘、支承轮和旋转驱动机构，真空室在长度方向均布有多套独立的真空抽气装置，靶安装管件通过左、右法兰安装在真空室内的左、右侧板上，其上通过安装法兰安装有平面磁控靶或/和旋转园柱磁控靶；工件架是可整体吊装的可旋转工件架，其安放在四个支承轮上，包括转盘、齿盘、连杆和工件装取机构，转盘和齿盘分别安装在靶安装管件的左、右两端，并用连杆连接，齿盘外周有齿，工件装取机构一端有与固定齿盘啮合的自转齿轮，另一端用于安装工件；固定齿轮通过支承柱固定在真空室的右侧板上，其外周有与自转轴一端的自转齿轮啮合的齿，旋转驱动机构是为工件架的运动提供动力的齿轮传动机构，它包括动力输入轴和动力输入轴连接的驱动齿轮，驱动齿轮与转盘啮合。
2.根据权利要求1所述的发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，其特征是靶安装管件上还通过隔板座安装有隔板，将靶与靶之间合理隔开，避免交叉污染。
3.根据权利要求2所述的发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，其特征是隔板采用活页式可插拔结构。
4.根据权利要求1或2或3所述的发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，其特征是工件装取机构采用可伸缩的自转轴结构。
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