[实用新型]一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种沉积炉的沉积气路系统，特别是涉及一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。

背景技术

化学气相沉积是一种被广泛应用于生产新型材料(如C/C、C/SiC、SiC/SiC等复合材料)的工艺方法。随着社会的发展、技术的进步，航天、航空、交通等诸多领域对化学气相沉积材料有了更高的要求，材料或制品的尺寸在向大型化发展。沉积均匀性是化学气相沉积的一个十分重要的质量指标，但是由于目前没有适用于大型真空化学气相沉积炉的沉积气路系统，要保证大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品化学气相沉积均匀性却十分困难，这就阻碍了大型化学气相沉积炉的开发，制约了大型(特别是高度尺寸很大)材料或制品的化学气相沉积。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性的适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。

为了解决上述问题，本实用新型提供的一种适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，包括混合气体供气管路、排气管路和沉积室，所述的沉积室的顶部均匀排布设有多个与所述的混合气体供气管路连接的喇叭形顶部进气管，在所述的沉积室的底部均匀排布设有多个与所述的排气管路连接的喇叭形排气管。

多个所述的喇叭形顶部进气管采用紧密相靠均匀排布设置在所述的沉积室的顶部，多个所述的喇叭形排气管采用紧密相靠均匀排布设置在所述的沉积室的底部。

所述的喇叭形顶部进气管设有倾斜微螺旋槽。

所述的沉积室的侧壁设有至少一个与所述的供气管路连接的喇叭形侧壁进气管。

所述的喇叭形侧壁部进气管内设有倾斜微螺旋槽。

所述的喇叭形顶部进气管和所述的喇叭形排气管均分别设有可独立调节和控制的调节阀。

每个所述的喇叭形侧壁部进气管均设有可独立调节和控制的调节阀。

与所述的喇叭形排气管连接的每个所述的排气管路上设有绝对压力变送器和电动调节阀。

采用上述技术方案的适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统，与目前通用及普通的化学气相沉积炉的沉积气路系统比较，本实用新型具有以下优点：

1、采用特殊结构形式的喇叭形顶部进气管和喇叭形排气管，喇叭形顶部进气管设有倾斜微螺旋槽，布气面积大，气体呈旋流状态进入沉积室，沉积室内的气流场均匀稳定。

2、喇叭形顶部进气管布置在沉积室的顶部，有利于气体从上至下流动，保证沉积质量。

3、在沉积室的侧壁上增加布置了喇叭形侧壁进气管(根据工件尺寸的大小，在沉积室的四个侧壁上均可布置)，有效满足了高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性问题。

4、喇叭形排气管布置在沉积室的底部，有利于气体的排出。

5、排气管路上增加设有绝对压力变送器和电动调节阀，进行自动调节，保证沉积室内压力恒定，实现恒定压力下的气相沉积。

6、模块式结构，根据沉积炉的大小，可采用多个相同形式的沉积气路组成整台沉积炉的沉积气路系统。

综上所述，本实用新型是一种能保证大型特别是高度尺寸很大的材料或制品化学气相沉积均匀性的适用于大型化学气相沉积炉的沉积气路系统。

附图说明

图1是本实用新型在沉积炉横截面上的结构示意图。

图2是本实用新型在沉积炉纵截面上的结构示意图。

图3是本实用新型的顶部进气管布置示意图。

图4是本实用新型的排气管布置示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。