[实用新型]直拉单晶炉用组合坩埚有效
申请号: | 201020691206.0 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN202030857U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 刘添华;邹志勇;薛伟;张江城;靳忠磊;张洪义 | 申请(专利权)人: | 山东伟基炭科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 苗峻 |
地址: | 250101 山东省济南市高新技术开*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直拉单晶炉用 组合 坩埚 | ||
1.一种直拉单晶炉用组合坩埚,包括埚托(1)和设在埚托(1)上部并与其配合的埚体,其特征是:所述埚体包括位于上部的圆筒状的炭/炭复合材料制成的筒体(3)和位于下部与所述筒体(3)下端相配合的碗状石墨材质的底座(2),所述底座(2)沿周向分为至少两瓣。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:所述埚体内沿埚体内侧壁铺设有高纯度石墨纸(5)。
3.根据权利要求2所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:所述石墨纸(5)的厚度为0.3mm~3mm。
4.根据权利要求3所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:所述石墨纸(5)的厚度为1mm。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:所述底座(2)的上沿内侧带有台阶状配合面,所述筒体(3)的下端与该台阶状配合面配合。
6.根据权利要求5所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:在筒体(3)的外径与底座(2)的台阶配合面之间留有0.05mm~3mm的间隙。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:所述底座(2)的上沿外侧带有台阶状配合面,所述筒体(3)的下端与底座(2)的上沿配合,在筒体(3)的外侧设有与底座(2)台阶状配合面配合的加强环(4)。
8.根据权利要求7所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:在筒体(3)的外径与加强环(4)的内径之间留有0.05mm-3mm的间隙。
9.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:筒体(3)的侧壁上开设有一条贯通其轴向长度的槽。
10.根据权利要求1或9所述的直拉单晶炉用组合坩埚,其特征是:筒体(3)的侧壁上开设有至少一条不贯通其轴向长度的槽。
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