[实用新型]一种直拉单晶炉用组合坩埚

权利要求书

1.一种直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：其包括圆盘状的石墨材质的底座(1)，设在底座(1)上与底座(1)配合的由炭/炭复合材料制成的圆筒状的筒体(3)，在筒体(3)与底座(1)形成的空腔底部设有石墨材质的垫块(2)，所述垫块(2)沿周向由至少两瓣组成，垫块(2)具有与单晶炉的石英坩埚埚底相配合的凹形曲面。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：底座(1)的中心部位设有凸台(7)，所述凸台(7)的表面具有与单晶炉的石英坩埚埚底相配合的凹形曲面，垫块(2)的底端套设于凸台(7)上，垫块(2)的凹形曲面与凸台(7)的凹形曲面平滑衔接。

3.根据权利要求1或2所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：所述底座(1)的外缘带有台阶状的配合面，筒体(3)的下端与该台阶状配合面配合。

4.根据权利要求1或2所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：每一瓣垫块(2)由至少两块带有相应的凹形曲面的小垫块组合而成，小垫块的凹形曲面组合后形成与单晶炉的石英坩埚埚底相配合的凹形曲面。

5.根据权利要求1或2所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：在筒体(3)与底座(1)及垫块(2)形成的空腔内沿内侧壁铺设高纯度石墨纸(4)。

6.根据权利要求5所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：所述石墨纸(4)的厚度为：0.3mm-3mm。

7.根据权利要求6所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：所述石墨纸(4)的厚度为：1mm。

8.根据权利要求3所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：筒体(3)的内径与底座(1)的台阶面之间留有0.05mm-3mm的间隙。

9.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：筒体(3)的侧壁上开设有一条贯通其轴向长度的槽。

10.根据权利要求1或9所述的直拉单晶炉用组合坩埚，其特征是：筒体(3)的侧壁上开设有至少一条不贯通其轴向长度的槽。