[实用新型]气动水阀

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种阀门，尤其涉及一种气动水阀。

【背景技术】

在半导体生产中，硅片的生产从开始投产到产出，需要经过很多步的清洗(通常使用溢水槽)，而每一步的清洗为了保证硅片清洗的足够干净，都需要经过长时间的溢水、冲水，控制都是操作员工手动来根据时间来开水、关水，但是在实际的生产过程中因为操作员的疏忽，经常忘记关水，导致水一直在流，造成了大量的去离子水的浪费以及后期废水处理费用的提高。

【实用新型内容】

为了解决传统的溢水、冲水只能通过手动开关的问题，有必要提供一种气动开关的气动水阀。

一种气动水阀，包括顺序连接的阀盖、阀身以及阀座，还包括阀芯；所述阀盖开设有第一进气孔；所述阀身开设有中空的气腔以及与所述气腔连通的通孔，所述气腔与所述通孔配合贯穿所述阀身，所述阀身还开设有与所述气腔连通的第二进气孔；所述阀座开设有中空的内腔以及与所述内腔连通的第一水孔和第二水孔；所述阀身开设有通孔的一端与所述阀座相接，另一端与所述阀盖相接；所述第一进气孔、通孔以及第一水孔的延伸方向相互平行，所述第二进气孔的延伸方向与所述通孔的延伸方向垂直，且设于所述阀身上靠近所述通孔的一端；所述阀芯包括阀身部和阀座部，所述阀身部包括相连的头部和杆部，所述头部与所述气腔紧密配合并可在所述气腔内滑动，所述杆部与所述通孔紧密配合并从所述通孔穿出，所述头部的横截面积大于所述杆部的横截面积以与所述阀座相抵持，所述杆部在尾端沿自身的延伸方向开设有连接孔；所述阀座部包括相连的连接部和抵止部，所述连接部插入所述连接孔与所述阀身部固定连接，并可通过所述抵止部与所述阀身部相抵持；所述抵止部背向所述连接部的一端用于堵住所述第一水孔；所述第一进气孔和第二进气孔分别与由电磁阀控制的两条进气通道相连。

优选的，所述通孔和气腔形成阶梯圆柱孔。

优选的，所述第一进气孔、第二水孔以及连接孔为螺纹孔，所述连接部设有与所述连接孔匹配的外螺纹。

优选的，所述抵止部背向所述连接部的一端为圆台形，所述第一水孔包括顺序连通的圆台孔、圆柱孔以及螺纹孔，所述圆台孔面向所述抵止部并与内腔相连通。

优选的，所述阀盖上开设有阀盖定位孔，所述阀身上开设有阀身定位孔，所述阀座上开设有阀座定位孔。

优选的，所述阀盖、阀身、阀座以及阀芯四个部件中以相互接触的任意两个部件为一组，至少有一组在所述两个部件的接触处设有密封圈。

优选的，所述阀身与阀盖的接触面处设有密封圈，所述通孔的边缘与阀身的分界处设有密封圈，所述阀座与阀身的接触面处设有密封圈，所述头部与阀身的接触面处设有密封圈。

优选的，所述第二进气孔是阶梯圆柱孔，包括相互连通的螺纹气孔和圆柱气孔，所述圆柱气孔的孔径小于所述螺纹气孔，所述圆柱气孔与所述气腔直接连通，所述螺纹气孔与所述气动水阀外界直接连通。

优选的，所述抵止部与所述连接部连接的一端为圆台形，所述通孔靠所述抵止部一端开设倒角。

上述气动水阀，第一进气孔进气、第二进气孔关闭时，气体将阀芯向下压，抵止部将第一水孔堵住，水阀关闭，水孔没有水流出；第一进气孔关闭、第二进气孔进气时，气体将阀芯向上顶，水阀打开，水可以从水孔流入并从另一个水孔流出。两进气孔分别与由电磁阀控制的两条进气通道相连，通过电磁阀控制排水阀的打开和关闭，操作简单。

【附图说明】

图1是一实施例中阀盖的示意图；

图2是图1所示阀盖的剖面图；

图3是一实施例中阀身的示意图；

图4是图3所示阀身沿A-A向的剖面图；

图5是图3所示阀身沿B-B向的剖面图；

图6是一实施例中阀座的示意图；

图7是图6所示阀座的剖面图；

图8是一实施例中阀芯的部分剖面图；

图9是一实施例中气动水阀装配完成后的剖面图。

【具体实施方式】

为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

图9是一实施例中气动水阀装配完成后的剖面图。气动水阀100包括顺序连接的阀盖10、阀身20以及阀座30，还包括阀芯40。

图1是一实施例中阀盖的示意图，图2是图1所示阀盖的剖面图。阀盖10开设有第一进气孔12。在本实施例中，阀盖10是圆环状的，在其他实施例中阀盖10也可以为其它形状，例如是中间开孔的方形盖等。