[实用新型]一种旋转自由度精密调节定位机构有效
申请号: | 201020694362.2 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN201994077U | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 王凯;段振飞 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 自由度 精密 调节 定位 机构 | ||
1.一种旋转自由度精密调节定位机构,包括底座(2)和支脚,其特征是支脚有三个,分别为第一支脚(1)、第二支脚(4)和第三支脚(5),上述三个支脚呈三角形布置在底座(2)下方;
所述第一支脚(1)和第三支脚(5)与所述底座(2)之间均设有调节螺钉,所述调节螺钉下端面为球面;所述第一支脚(1)和第三支脚(5)上均设有垫圈定位槽,该定位槽中设有锥面垫圈,所述锥面垫圈与所述调节螺钉相匹配;
所述第二支脚(4)与所述底座(2)之间设有定位销(3),所述定位销(3)的底面是球面,所述第二支脚(4)的上表面设有球面槽,所述定位销(3)顶在所述球面槽内;
所述第三支脚(5)上还装配有偏心销(7),所述偏心销(7)的轴向垂直于所述底座(2);所述底座(2)在与所述偏心销(7)的大端柱面对应位置处开有缺口,所述偏心销(7)的大端柱面紧靠在缺口内壁上。
2.根据权利要求1所述的一种旋转自由度精密调节定位机构,其特征是所述第一支脚(1)上的垫圈定位槽的中心与所述球面槽的中心的连线垂直于所述第三支脚(5)上的垫圈定位槽的中心与所述球面槽的中心的连线。
3.根据权利要求1所述的一种旋转自由度精密调节定位机构,其特征是所述底座(2)与上述三个支脚之间通过螺钉连接;所述螺钉依次通过平垫圈(10)和弹性体,穿过底座(2)上相应的螺孔连接到支脚上。
4.根据权利要求3所述的一种旋转自由度精密调节定位机构,其特征是所述螺钉与底座(2)上相应的螺孔之间留有间隙。
5.根据权利要求3所述的一种旋转自由度精密调节定位机构,其特征是所述弹性体是碟簧组(9)或螺旋弹簧。
6.根据权利要求1所述的一种旋转自由度精密调节定位机构,其特征是所述偏心销(7)还连接有紧定螺钉(6)。
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