[实用新型]一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机有效
| 申请号： | 201020695048.6 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202123077U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 沈凯锋 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 氮化 沉积物 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机，其特征在于：包括PVC材质的主槽体（1），在主槽体（1）的一侧上下分别设有氢氟酸溶液进口（2）和氮气进气口（3），在另一侧设有溢流口（6），槽体底脚（4）及废液出液口（5）设于主槽体（1）的下部，槽体槽盖（7）设于主槽体（1）的顶部。
2.如权利要求1所述的一种用于清洗氮化硅沉积物的清洗机，其特征在于：在所述氢氟酸进液口（2）、氮气进气口（3）以及废液出液口（5）上设有球阀。
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