[实用新型]一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置有效
| 申请号： | 201020699192.7 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201952526U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 向东;姜盛君;舒骁骥 | 申请（专利权）人： | 向东 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 徐州市淮海专利事务所 32205 | 代理人： | 胡亚辉 |
| 地址： | 550001 贵州省贵阳市云*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 三氯氧磷液位差 储运 供料 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷容器上有氮气入口阀、进料口阀门和出料口阀门，高纯三氯氧磷容器通过出料口阀门和鼓泡器进料阀连接带超声波液位控制器的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接扩散炉。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置，其特征是：石英鼓泡器上有高纯氮气鼓泡阀。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度三氯氧磷液位差储运供料装置，其特征是：高纯三氯氧磷容器上的氮气入口阀通过单向阀连接氮气减压阀。
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