[实用新型]三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气处理的量回收设备系统。

背景技术

三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括：化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离等主要工序。

三氯氢硅制备过程中产生的尾气主要成分是氢气、氯化氢和氯硅烷，其处方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中一般采用尾气-水喷淋中和处理、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是：尾气中的氢气不能有效利、处理不彻底等。

发明内容

为解决现有技术中的不足之处，申请人研发了一种尾气吸收-变压吸附装置，实用新型是该装置中的一部分，目的是充分利用尾气处理过程的地热量。

本实用新型具体采用如下技术方案：

一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔，尾气管路通过气换热器后气相连接吸收塔下部，吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器；吸塔下部液相连接吸收剂热交换器。

本实用新型优点在于：其能够充分利用尾气处理过程中的热量，节约能源。

附图说明

图1是本实用新型设备连接框图；

图中，1-尾气换热器，2-吸收塔，3-吸收剂热交换器。

具体实施方式

如图1所示，一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔2，尾气管路通过尾气换热器1后气相连接吸收塔2下部，吸收塔2顶部出气管路连接尾气换热器1；吸收塔2下部液相连接吸收剂热交换器3。

在尾气换热器1中，三氯氢硅尾气与吸收塔2吸收后的产品气进行热交换；在吸收剂热交换器3中，吸收剂富液和吸收剂贫液进行热交换，如此，就充分利用了热量，节约了能源。