[发明专利]光照射装置的光照射方法以及光照射装置

权利要求书

1.一种从包含沿着一个方向排列的多个光学元件的光照射装置照射直线状光束的方法，

所述方法具备以下步骤：

通过分别从所述多个光学元件照射具有椭圆形状照射区域的光线并且将所述各个照射区域重叠，来生成具有沿着所述一个方向延伸的光照射面的所述直线状光束；

使所述直线状光束的所述光照射面沿着所述一个方向与形成在基板上的直线状光固化性树脂对峙；

将所述直线状光束照射在所述直线状光固化性树脂上；

在将所述直线状光束照射在所述直线状光固化性树脂上的期间，使所述直线状光束的所述光照射面和所述基板的一方沿着所述一个方向相对移动。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述相对移动的步骤包括：使所述直线状光束的所述光照射面和所述基板的一方沿着所述一个方向相对移动所述多个光学元件的配置间隔的二分之一以上的距离。

3.一种光照射装置，具备：

载置台，其载置形成有直线状光固化性树脂的基板；

光照射单元，其包括沿着一个方向排列的多个光学元件，通过分别从所述多个光学元件照射具有椭圆形状照射区域的光线并且将所述各个照射区域重叠，来生成具有沿着所述一个方向延伸的光照射面的直线状光束；

光学元件驱动装置，其驱动所述光照射单元的各个光学元件；

第1移动装置，其使所述光照射单元沿着与所述一个方向垂直的方向移动；

第2移动装置，其使所述光照射单元或者所述载置台上的所述基板沿着所述一个方向移动；和

控制装置，其控制所述第1移动装置，使所述直线状光束的所述光照射面沿着所述一个方向与所述直线状的光固化性树脂对峙，并控制所述光学元件驱动装置以及所述第2移动装置，一边使所述直线状光束的所述光照射面和所述基板的一方沿着所述一个方向相对移动，一边使所述直线状光束照射在所述直线状光固化性树脂上。

4.根据权利要求3所述的光照射装置，其中，

所述第2移动装置使所述光照射单元相对于载置在所述载置台上的所述基板沿着所述一个方向相对移动。

5.根据权利要求3所述的光照射装置，其中，

所述第2移动装置使所述光照射单元和所述载置台上的所述基板的一方沿着所述一个方向相对移动所述多个光学元件的配置间隔的二分之一以上的距离。

6.根据权利要求3所述的光照射装置，进一步具备：

照度传感器，其检测所述直线状光束的照度；和

第3移动装置，其使所述照度传感器沿着所述一个方向移动，

所述控制装置控制所述第1移动装置，将所述光照射单元配置在所述照度传感器的正上方位置，并控制所述光学元件驱动装置、所述照度传感器、以及所述第3移动装置，一边使所述照度传感器移动一边检测所述直线状光束的所述光照射面的照度。

7.根据权利要求6所述的光照射装置，进一步具备：

检测窗口，所述检测窗口以使所述直线状光束透过的形式沿着所述一个方向形成在所述载置台内；和

引导部件，所述引导部件以与所述检测窗口相对的形式配置在所述载置台下侧，并且沿着所述检测窗口对所述照度传感器的移动进行引导，

所述照度传感器在沿着所述引导部件移动期间，检测通过所述检测窗口入射的所述直线状光束的所述光照射面的照度。

8.根据权利要求6所述的光照射装置，

进一步具备中心位置设定装置，所述中心位置设定装置基于由所述照度传感器检测出的、所述直线状光束的光照射面的照度来判断所述直线状光束的线宽方向的中心位置，并且将所述直线状光束的中心位置作为所述光照射单元的、与所述一个方向垂直的方向上的中心位置来设定。

9.根据权利要求8所述的光照射装置，

进一步具备发光能力判断装置，其使所述照度传感器在经过所述直线状光束的所述中心位置的线路上沿着所述一个方向移动，对所述直线状光束的所述中心位置的照度进行判断，并且基于该判断出的照度来判断所述多个光学元件的发光能力。

10.根据权利要求3所述的光照射装置，其中，

所述光照射单元包括沿所述一个方向排列设置的多个电路板，所述多个光学元件沿着所述一个方向直线状地安装在所述多个电路板上。