[发明专利]折射率测定装置

权利要求书

1.一种折射率测定装置，其特征在于，具有：

光源、

将来自所述光源的光分成检查光和参照光的分光器、

使所述检查光聚光并照射到被检物表面的第一探针光学系统、

使透过所述被检物的所述检查光聚光的第二探针光学系统、

以使所述第一探针光学系统的光轴和所述第二探针光学系统的光轴保持同轴性的方式使所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统在一个光轴上位移的驱动机构、

使通过所述第二探针光学系统聚光的所述检查光和所述参照光干涉而得到干涉信号的受光元件、以及

基于通过所述受光元件得到的干涉信号算出所述被检物的折射率的算出部。

2.如权利要求1所述的折射率测定装置，其特征在于，

所述算出部基于所述被检物的干涉信号的计算值、以及替换被检物而使用折射率和厚度已知的基准物预先求出的干涉信号的计算值，算出所述被检物的折射率。

3.如权利要求2所述的折射率测定装置，其特征在于，具有：

将所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统的位置作为相距各自基准位置的差分而进行测距的第一测长机构、

设置于所述参照光的光程中并调整所述参照光的光程长度的参照光反射镜、以及

将所述参照光反射镜的位置作为相距其基准位置的差分而进行测距的第二测长机构，

当将所述基准物的折射率设为N0、将所述基准物的厚度设为D0、将所述各探针光学系统相距所述基准位置的差分的合计值设为ΔD、将所述参照光反射镜相距所述基准位置的差分设为ΔND时，通过下述(式1)由所述算出部算出所述被检物的折射率N，

(数1)

N＝(2ΔND+N0×D0)/(ΔD+D0)...(式1)。

4.如权利要求1或2所述的折射率测定装置，其特征在于，

所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统中的一个探针光学系统的探针仅露出比其照射光的波长小的范围内的前端，所述探针的其他部分由不透明的覆盖层覆盖，另一个探针光学系统的探针仅露出比其照射光的波长小的范围内的前端，所述另一个探针光学系统的所述探针的其他部分由透明的覆盖层覆盖。

5.如权利要求1或2所述的折射率测定装置，其特征在于，

所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统中的一个探针光学系统的探针仅露出比其照射光的波长小的范围内的前端，所述探针的其他部分由不透明的覆盖层覆盖，另一个探针光学系统的探针仅露出比其照射光的波长小的范围内的前端，所述另一个探针光学系统的所述探针的其他部分无覆盖层而露出。

6.如权利要求1或2所述的折射率测定装置，其特征在于，

还具有使所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统以保持同轴的状态联动地移动的移动机构，使所述第一探针光学系统和所述第二探针光学系统一边移动一边扫描所述被检物，算出所述被检物的折射率分布。