[发明专利]整体式铝合金靶及其制造方法

权利要求书

1.制造具有溅射区和凸缘区的整体式Al或Al合金靶的方法，包括如下 步骤：

a.对Al工件进行机械加工以制造坯料；

b.在重结晶温度下，对所述坯料进行退火，以使该坯料重结晶；

c.在所述退火之后，在低于所述重结晶温度的温度下产生10～50％的额 外应变以提高机械强度；

d.进一步地，在所述退火之后且在低于所述重结晶温度的温度下，在凸 缘区中产生20～60％的应变；和

e.对所述坯料进行精加工，以形成具有所需的晶体织构和足够的机械强 度的溅射靶，其中，所述溅射区具有平均至少30％的(200)取向。

2.权利要求1的方法，其中，对于步骤a)，所述机械加工为轧制。

3.权利要求1的方法，其中，用于在步骤c)中产生应变的方法是轧制， 并且用于在步骤d)中产生应变的方法是压制。

4.权利要求1的方法，其中，用于在步骤c)和d)这两者中产生应变的 方法是压制。

5.权利要求1的方法，其中，用于在步骤c)和d)中产生应变的方法是 使用闭式模具对一侧进行轧制。

6.权利要求1的方法，其中，所述靶由纯铝或者具有一种或多种合金元 素的铝合金构成，所述合金元素选自Cu、Si、Ti、Ge、W、Ag、Fe、V、 Ni及混合物，且所述合金元素以不超过10重量％的总量存在。

7.权利要求1的方法，其中，所述靶是平坦的且步骤a)中所述的坯料是 圆形的。

8.权利要求3的方法，其中，所述步骤c)和所述步骤d)均在室温下进 行。

9.权利要求4的方法，其中，所述步骤c)和d)在室温下进行。

10.权利要求5的方法，其中，所述步骤c)和d)在室温下进行。

11.权利要求1的方法，其中，所述步骤c)和d)在不对称模具中同时进 行。