[发明专利]密封装置

权利要求书

1.一种密封装置，该密封装置是轴的密封装置，处理室保持为预定的环境，所述轴在维持该处理室的环境的同时将预定的机械运动从该处理室的外部传递至该处理室的内部，所述密封装置的特征在于，

所述密封装置具有：

壳体，所述轴贯通该壳体；

磁力产生构件，该磁力产生构件配置在所述壳体与所述轴之间，用于在所述轴的周围产生磁力；

第一导磁部件和第二导磁部件，所述第一导磁部件具有一对内侧突缘，这一对内侧突缘从所述壳体朝所述轴突出，从而形成围绕所述轴的密封槽，并且所述第一导磁部件与所述磁力产生构件的一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力，所述第二导磁部件具有从所述壳体朝所述轴突出的内侧突缘，并且所述第二导磁部件与所述磁力产生构件的另一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力；

滑动衬套，该滑动衬套配置在轴与所述第二导磁部件的内侧突缘之间，并且以相对于所述轴的外周面隔开极其细微的间隙的方式固定于所述内侧突缘；

密封部件，该密封部件以至少一部分朝所述轴探出的状态收纳于所述密封槽，该密封部件相对于所述轴的外周面进行滑动；以及

磁性流体，该磁性流体借助由所述磁力产生构件产生的磁力而被保持在所述轴与所述导磁部件之间，

所述密封槽的通过所述轴的中心轴的截面的形状为大致矩形形状，

所述密封部件具有分别朝所述密封槽的所述大致矩形形状的各个顶点突出的四个突起部，在所述突起部中的朝所述轴侧突出的两个突起部之间形成有流体保持槽，该流体保持槽用于保持所述磁性流体。

2.一种密封装置，该密封装置是轴的密封装置，处理室保持为预定的环境，所述轴在维持该处理室的环境的同时将预定的机械运动从该处理室的外部传递至该处理室的内部，所述密封装置的特征在于，

所述密封装置具有：

壳体，所述轴贯通该壳体；

磁力产生构件，该磁力产生构件配置在所述壳体与所述轴之间，用于在所述轴的周围产生磁力；

第一导磁部件和第二导磁部件，所述第一导磁部件具有一对内侧突缘，这一对内侧突缘从所述壳体朝所述轴突出，从而形成围绕所述轴的密封槽，并且所述第一导磁部件与所述磁力产生构件的一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力，所述第二导磁部件具有从所述壳体朝所述轴突出的内侧突缘，并且所述第二导磁部件与所述磁力产生构件的另一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力；

滑动衬套，该滑动衬套配置在轴与所述第二导磁部件的内侧突缘之间，并且以相对于所述轴的外周面隔开极其细微的间隙的方式固定于所述内侧突缘；

密封部件，该密封部件以至少一部分朝所述轴探出的状态收纳于所述密封槽，该密封部件相对于所述轴的外周面进行滑动；以及

磁性流体，该磁性流体借助由所述磁力产生构件产生的磁力而被保持在所述轴与所述导磁部件之间，

在第一内侧突缘的与所述轴接近的端部，形成有朝所述轴和所述密封部件突出的流体保持突部，所述第一内侧突缘是所述第一导磁部件的一对内侧突缘中的与所述磁力产生构件接近的内侧突缘。

3.一种密封装置，该密封装置是轴的密封装置，处理室保持为预定的环境，所述轴在维持该处理室的环境的状态下将预定的机械运动从该处理室的外部传递至该处理室的内部，所述密封装置的特征在于，

所述密封装置具有：

壳体，所述轴贯通该壳体；

磁力产生构件，该磁力产生构件配置在所述壳体与所述轴之间，用于在所述轴的周围产生磁力；

第一导磁部件和第二导磁部件，所述第一导磁部件具有一对内侧突缘，这一对内侧突缘从所述壳体朝所述轴突出，从而形成围绕所述轴的密封槽，并且所述第一导磁部件与所述磁力产生构件的一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力，所述第二导磁部件具有从所述壳体朝所述轴突出的内侧突缘，并且所述第二导磁部件与所述磁力产生构件的另一侧相邻配置，以传递由该磁力产生构件产生的磁力；

滑动衬套，该滑动衬套配置在轴与所述第二导磁部件的内侧突缘之间，并且以相对于所述轴的外周面隔开极其细微的间隙的方式固定于所述内侧突缘；

密封部件，该密封部件以至少一部分朝所述轴探出的状态收纳于所述密封槽，该密封部件相对于所述轴的外周面进行滑动；以及

磁性流体，该磁性流体借助由所述磁力产生构件产生的磁力而被保持在所述轴与所述导磁部件之间，

所述密封槽形成为燕尾槽形状。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的密封装置，其特征在于，

使套筒配合于轴的外周面的与所述第一磁极部件和第二磁极部件对置的部分。