[发明专利]预对准装置以及预对准方法

权利要求书

1.一种预对准装置，用于对搬送到曝光装置的基板进行预对准，其特征在于，具有：

基板保存部，用于载置所述基板；

基板驱动机构，沿预定方向以及与该预定方向正交的方向驱动所述基板保存部，并且绕与所述方向正交的轴进行旋转驱动；

基板温度调整机构，对载置在所述基板保存部上的基板进行温度调整。

2.根据权利要求1所述的预对准装置，其特征在于，

所述预对准装置还具有用于检测出载置在所述基板保存部上的基板的异物的异物检测机构。

3.一种预对准装置，用于对搬送到曝光装置的基板进行预对准，其特征在于，具有：

基板保存部，其用于载置所述基板；

基板驱动机构，其沿预定方向以及与该预定方向正交的方向驱动所述基板保存部，并且绕与所述方向正交的轴进行旋转驱动；

以及异物检测机构，其用于检测出载置在所述基板保存部上的基板的异物。

4.根据权利要求2或3所述的预对准装置，其特征在于，

所述异物检测机构具有多个摄像机，其配置在所述基板保存部的上方，沿所述预定方向配置成直线状；和光源，其向该摄像机所摄像的基板的位置照射光。

5.根据权利要求4所述的预对准装置，其特征在于，

所述异物检测机构还具有用于向所述正交方向搬送所述多个摄像机和所述光源的搬送机构。

6.根据权利要求4所述的预对准装置，其特征在于，

所述多个摄像机和所述光源沿所述正交方向配置在靠近搬送用机器人的位置，所述搬送用机器人用于向所述基板保存部传递所述基板。

7.根据权利要求2或3所述的预对准装置，其特征在于，

所述异物检测机构具有分别配置在所述预定方向的所述基板保存部的侧方的激光投光器和激光受光器。

8.根据权利要求7所述的预对准装置，其特征在于，

所述异物检测机构还具有向所述正交方向搬送所述激光投光器和激光受光器的搬送机构。

9.根据权利要求7所述的预对准装置，其特征在于，

所述激光投光器和激光受光器沿所述基板保存部的正交方向配置在靠近搬送用机器人的位置，所述搬送用机器人用于向所述基板保存部传递所述基板。

10.一种预对准装置的预对准方法，所述预对准装置具有基板保存部，用于载置基板；基板驱动机构，能够沿预定方向以及与该预定方向正交的方向驱动所述基板保存部，并且能够绕与所述方向正交的轴进行旋转驱动；以及基板温度调整机构，对载置在所述基板保存部上的基板进行温度调整，其特征在于，具有：

对载置在所述基板保存部上的基板进行温度调整的工序；和

对进行所述温度调整中的基板进行预对准的工序。

11.根据权利要求10所述的预对准方法，其特征在于，

由用于检测基板的异物的异物检测机构检测出进行所述温度调整中的基板的异物。

12.根据权利要求10所述的预对准方法，其特征在于，

还具有在搬送用机器人向所述基板保存部传递所述基板时，由用于检测基板的异物的异物检测机构检测出所述基板的异物的工序。