[发明专利]高频加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及高频加热装置，特别涉及具备多个具有使用半导体元件放大器的高频产生单元的高频加热装置。

背景技术

以往的高频加热装置一般由使用称作磁控管的真空管的振荡设备构成。

近年来，研究了代替该磁控管而采用振荡器和使用半导体元件的放大器的高频加热装置。在这样的高频加热装置的情况下，能够以小型而便宜的结构、并且容易地控制频率。在专利文献1中，公开了检测使从多个高频产生单元的各放射部放射的高频的相位差及频率变化时的各条件下的逆流波、通过找到逆流波功率为最小的条件进行控制、以希望的状态将被加热物加热的技术。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-269793号公报(参照图1)

发明要解决的课题

但是，在专利文献1中公开的以往的高频加热装置的结构中，在从加热室输入到某个放射部中的所谓的逆流波中，不能分别检测出从一个高频产生单元的放射部放射的高频通过反射而回到该放射部的反射波、和其他高频产生单元的放射部放射的高频被输入到一个高频产生单元的放射部中的穿越波。因此，有通过某个放射部自己放射的高频中的、通过反射回到该放射部的反射波与输入到其他放射部中的穿越波的合计进行计算的、不知道高频产生单元各自的高频的照射损失的问题。即，不知道在高频加热装置整体的照射损失中、哪个高频产生单元的照射损失占有较高的比例，所以在抑制照射损失时，不清楚应控制的高频产生单元，有高频加热的优化处理需要大量的时间的问题。

发明内容

本发明是为了解决这样的问题而做出的，目的是提供一种在某个放射部中、能够分别检测出该放射部放射的高频通过反射而返回的反射波、和其他放射部放射的高频进入的穿越波的高频加热装置。

为了解决上述问题，有关本发明的高频加热装置的一技术方案，具备：加热室，收纳被加热物；多个高频产生单元，对上述加热室放射高频；控制部，控制上述多个高频产生单元；上述多个高频产生单元分别具备产生高频的高频产生部、产生用来调制由上述高频产生部产生的高频的信号波的信号波产生部、将用上述信号波调制由上述高频产生部产生的高频而成的调制波对上述加热室放射的放射部、和检测作为上述调制波的一部分的、从上述加热室向上述放射部入射的逆流波的逆流波解调部；上述逆流波解调部通过基于上述调制波将上述逆流波解调，检测从一个上述高频产生单元的放射部放射的高频的一部分反射而被向该一个上述高频产生单元的放射部输入的因反射引起的逆流波、和从其他上述高频产生单元的放射部放射的高频的一部分被向上述一个上述高频产生单元的放射部输入的因穿透引起的逆流波；上述控制部基于由上述逆流波解调部检测到的、上述因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，控制上述多个高频产生单元的至少某1个。

进而，在有关本发明的高频加热装置的一技术方案中，优选的是，上述控制部基于由上述逆流波解调部检测到的、上述因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定使上述高频产生部产生的高频的频率。

进而，在有关本发明的高频加热装置的一技术方案中，优选的是，上述控制部基于由各个上述逆流波解调部检测到的、上述因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定使上述高频产生部的频率变化的上述高频产生单元；基于使所决定的该高频产生单元的上述高频产生部的频率变化时的因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定使上述高频产生部产生的频率。

进而，在有关本发明的高频加热装置的一技术方案中，优选的是，上述控制部上述控制部基于由上述逆流波解调部检测到的、上述因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定上述放大器的放大增益。

进而，在有关本发明的高频加热装置的一技术方案中，优选的是，上述控制部基于由各个上述逆流波解调部检测到的、上述因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定使上述放大器的放大增益变化的上述高频产生单元；基于使所决定的该高频产生单元的上述放大器的放大增益变化时的因反射引起的逆流波的信号和上述因穿透引起的逆流波的信号，决定上述放大器的放大增益。