[发明专利]弹性波元件和弹性波滤波器有效
申请号: | 201080003110.3 | 申请日: | 2010-02-23 |
公开(公告)号: | CN102204092A | 公开(公告)日: | 2011-09-28 |
发明(设计)人: | 上口洋辉;中西秀和;滨冈阳介;冈本庄司;中村弘幸 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 元件 滤波器 | ||
1.一种弹性波元件,其中,
具有:
压电基板,其具有表面;
第一叉指式换能器(IDT)电极,其具有设置在所述压电基板的所述表面上的第一梳齿电极、和设置在所述压电基板的所述表面上并且与所述第一梳齿电极对置的第二梳齿电极;以及
第一其它电极,其设置在所述压电基板的所述表面上,
所述第一叉指式换能器电极和所述第一其它电极被排列于第一方向上,
所述第一梳齿电极包括:
第一汇流条,其在所述第一方向上延伸;
多个第一交叉电极指,从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在与所述第一方向不同的第二方向上延伸;和
多个第一虚设电极指,从所述第一汇流条向所述第二梳齿电极在所述第二方向上延伸,
所述第二梳齿电极包括:
第二汇流条,其在所述第一方向上延伸;
多个第二交叉电极指,从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在与所述第二方向相反的第三方向上延伸,并且在交叉区域与所述多个第一交叉电极指交叉,并且分别与所述多个第一虚设电极指在所述第三方向上对置;
多个第二虚设电极指,从所述第二汇流条向所述第一梳齿电极在所述第三方向上延伸,且分别与所述多个第一交叉电极指在所述第三方向上对置;
多个加权部,在所述多个第二交叉电极指与所述多个第二虚设电极指之间的间隙部设置电极,并且被设置在所述交叉区域以外的非交叉区域;和
非加权部,其在所述非交叉区域,在所述间隙部之中与所述其它电极最近的间隙部未设置电极。
2.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述第一其它电极是反射器电极。
3.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述弹性波元件还具有:第二其它电极,其被设置在所述压电基板的所述表面上,
以所述第一叉指式换能器电极位于所述第一其它电极与所述第二其它电极之间的方式,将所述第一叉指式换能器电极、所述第一其它电极和所述第二其它电极排列在所述第一方向上。
4.根据权利要求3所述的弹性波元件,其中,
所述第一其它电极与所述第二其它电极是反射器电极。
5.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述第一其它电极是具有相互对置的第三和第四梳齿电极的第二叉指式换能器电极。
6.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述多个加权部在所述第二方向上的宽度,从所述第一汇流条的中央部向两端逐渐扩宽。
7.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述第一叉指式换能器电极与所述第一其它电极之间的间隔,为所述第三方向上相互对置的所述多个第一交叉电极指与所述多个第二虚设电极指的间隔以下。
8.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述压电基板由LiNbO3构成。
9.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
还具有:电介质薄膜,其被设置在所述压电基板的所述表面上,以覆盖所述叉指式换能器电极。
10.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
所述多个第一虚设电极指之中与所述第一其它电极最近的最外侧虚设电极指在所述第一方向上的宽度,小于所述多个第二虚设电极指之中的所述最外侧虚设电极指的其它虚设电极指在所述第一方向上的宽度。
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