[发明专利]模具及其制造方法有效
申请号: | 201080003284.X | 申请日: | 2010-04-06 |
公开(公告)号: | CN102227519A | 公开(公告)日: | 2011-10-26 |
发明(设计)人: | 林秀和;箕浦洁;石动彰信 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | C25D11/04 | 分类号: | C25D11/04;B29C33/38;B29C33/42;B29C59/02;C25D11/12;G02B1/11 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模具 及其 制造 方法 | ||
1.一种模具,具有:
用玻璃或塑料形成的基材;
无机基底层,其形成于上述基材的表面;
含有铝的缓冲层,其形成于上述无机基底层上,
铝层,其形成于上述缓冲层的表面;以及
多孔氧化铝层,其形成于上述铝层的表面,上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构,上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部。
2.根据权利要求1所述的模具,上述无机基底层为氧化硅层或氧化钛层。
3.根据权利要求1或2所述的模具,上述缓冲层含有铝、和氧或者氮,上述铝的含有率具有在上述多孔氧化铝层侧比上述无机基底层侧高的分布。
4.一种模具的制造方法,上述模具在表面具有反转的蛾眼结构,上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部,上述模具的制造方法包含如下工序:
(a)准备模具基材,上述模具基材具有用玻璃或塑料形成的基材、形成于上述基材的表面的无机基底层、形成于上述无机基底层上的含有铝的缓冲层、以及形成于上述缓冲层的表面的铝层;
(b)对上述铝层局部地进行阳极氧化,由此形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层;
(c)在上述工序(b)之后,使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触,由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大;以及
(d)在上述工序(c)之后,进一步进行阳极氧化,由此使上述多个微细凹部成长。
5.根据权利要求4所述的模具的制造方法,上述无机基底层为氧化硅层或氧化钛层。
6.根据权利要求4或5所述的模具的制造方法,上述缓冲层含有铝、和氧或者氮,上述铝的含有率具有在上述铝层侧比上述无机基底层侧高的分布。
7.根据权利要求4~6中的任一项所述的模具的制造方法,在上述工序(d)之后,进一步进行上述工序(b)和上述工序(c)。
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