[发明专利]压电体薄膜、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用压电发电元件的发电方法

权利要求书

1.一种压电体薄膜，其特征在于：

具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO₃构成的(Bi、Na、Ba)TiO₃膜，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜具有(001)取向，还含有Ag，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。

2.如权利要求1所述的压电体薄膜，其特征在于：

还具备具有(001)取向的LaNiO₃膜，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜形成于所述LaNiO₃膜上。

3.如权利要求2所述的压电体薄膜，其特征在于：

还具备Si基板，

所述LaNiO₃膜夹置于所述Si基板和所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜之间。

4.如权利要求2所述的压电体薄膜，其特征在于：

还具备导电膜，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜夹置于所述导电膜和所述LaNiO₃膜之间。

5.一种喷墨头，其特征在于，具备：

具有压电体层的压电体薄膜、

与所述压电体薄膜接合的振动层、和

具有容纳墨水的压力室，并且与所述振动层中所述压电体薄膜接合的面的相反侧的面接合的压力室部件，

所述压电体薄膜还具有夹着所述压电体层的第1电极和第2电极，

所述振动层与所述压电体薄膜接合，基于压电效果，使得对应于所述压电体薄膜的形变而在该振动层的膜厚方向位移，

所述振动层和所述压力室部件互相接合，使得对应于所述振动层的位移，所述压力室的容积变化，并且对应于所述压力室的容积的变化，所述压力室内的墨水被喷出，

所述压电体层是由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO₃构成的(Bi、Na、Ba)TiO₃膜，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜具有(001)取向，还含有Ag，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。

6.如权利要求5所述的喷墨头，其特征在于：

所述第1电极具备具有(001)取向的LaNiO₃膜。

7.一种使用喷墨头形成图像的方法，其特征在于，包括：

准备所述喷墨头的工序，

其中，所述喷墨头具备：

具有压电体层的压电体薄膜、

与所述压电体薄膜接合的振动层、和

具有容纳墨水的压力室，并且与所述振动层中所述压电体薄膜接合的面的相反侧的面接合的压力室部件，

所述压电体薄膜还具有夹着所述压电体层的第1电极和第2电极，

所述振动层与所述压电体薄膜接合，基于压电效果，使得对应于所述压电体薄膜的形变而在该振动层的膜厚方向位移，

所述振动层和所述压力室部件互相接合，使得对应于所述振动层的位移，所述压力室的容积变化，并且对应于所述压力室的容积的变化，所述压力室内的墨水被喷出，

所述压电体层是由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO₃构成的(Bi、Na、Ba)TiO₃膜，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜具有(001)取向，还含有Ag，

所述(Bi、Na、Ba)TiO₃膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下；

和

形成图像的工序，通过由所述第1电极和第2电极对所述压电体层施加电压，基于压电效果，使所述振动层在该层的膜厚方向位移，以使所述压力室的容积变化，通过该位移使墨水从所述压力室喷出而形成图像。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：

所述第1电极具备具有(001)取向的LaNiO₃膜。