[发明专利]狭缝式超音速喷嘴及具备该喷嘴的表面处理装置无效

专利信息
申请号: 201080004277.1 申请日: 2010-03-18
公开(公告)号: CN102272900A 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 金相贤 申请(专利权)人: 技得源有限公司
主分类号: H01L21/302 分类号: H01L21/302;H01L21/304
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 崔征
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 狭缝 超音速 喷嘴 具备 表面 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种狭缝式超音速喷嘴(110),是喷射能够从处理对象物(10)的表面脱离异物的高速气体的喷嘴,其特征在于,包括:

喷嘴本体(111),其沿着上述处理对象物(10)的宽度方向延伸形成;

压力均匀分配路(112),其具备沿着上述处理对象物(10)的宽度方向延续的流路并形成在上述喷嘴本体(111)内部,以便使向上述喷嘴本体(111)供给的高压气体能够沿着上述喷嘴本体(111)的长度方向均匀地分布;以及

狭缝(113),其在上述喷嘴本体(111)和压力均匀分配路(112)的一端部上沿着上述处理对象物(10)的宽度方向延续地开放形成,并通过上述压力均匀分配路(112)得到高压气体的供给,从而生成能够产生冲击波的超音速气体射流并向上述处理对象物(10)侧进行喷射。

2.根据权利要求1所述的狭缝式超音速喷嘴(110),其特征在于,上述喷嘴本体(111)包括:

沿着上述喷嘴本体(111)的长度方向分隔设置多个的气体进入口(111a),该气体进入口(111a)能够沿着与从上述压力均匀分配路(112)向上述狭缝(113)供给气体的方向不同方向提供高压气体使其进入到上述喷嘴本体(111)内部的路径。

3.根据权利要求1所述的狭缝式超音速喷嘴(110),其特征在于,上述压力均匀分配路(112)包括:

气体进入均匀分配部(112a)和气体传递均匀分配部(112b),

该气体进入均匀分配部(112a)具备第一侧壁(112a-1)和第二侧壁(112a-2),该第一侧壁(112a-1)提供得到高压气体的供给后能够向上述狭缝(113)侧改变流动方向的对置面,该第二侧壁(112a-2)与上述第一侧壁(112a-1)隔开规定的分隔距离来形成,以便沿着上述喷嘴本体(111)的长度方向均匀地分配压力并向上述狭缝(113)侧传递高压气体;

该气体传递均匀分配部(112b)与上述气体进入均匀分配部(112a)和狭缝(113)连通形成,以便对在上述气体进入均匀分配部(112a)中第一次分配的气体进行第二次分配并能够向上述狭缝(113)侧传递,并且从与上述气体进入均匀分配部(112a)的连接部越朝向与上述狭缝(113)的连接部侧其截面连续地缩小形成,以便能够实现气体的压力强化和顺畅的流动。

4.根据权利要求1所述的狭缝式超音速喷嘴(110),其特征在于,上述狭缝(113)包括:

倾斜缩小部(113a)、曲面连接部(113b)以及倾斜扩大部(113c),

该倾斜缩小部(113a)形成为随着靠近上述狭缝(113)的喷射端部侧,狭缝的宽度以15~52°的倾斜度缩小,

该曲面连接部(113b)与上述倾斜缩小部(113a)的端部连接形成,并且沿着上述狭缝(113)的喷射方向连续形成0.02~5.00mm的长度,形成相当于0.01~1.25mm的狭缝宽度,

该倾斜扩大部(113c)与上述曲面连接部(113b)的端部连接形成,并且随着靠近上述狭缝(113)的喷射端部侧,其截面以0.1~48°的倾斜度扩大,并且沿着上述狭缝(113)的喷射方向连续形成0.02~6.25mm的长度。

5.根据权利要求1所述的狭缝式超音速喷嘴(110),其特征在于,上述狭缝(113)的喷射端部被设置成:

从上述处理对象物(10)的表面起具有与上述狭缝(113)的喷射端部上生成的冲击波的5个波长到达的距离以内相当的分隔距离。

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