[发明专利]干式真空泵

权利要求书

1.一种干式真空泵，其具有：

轴，其通过电磁电动机驱动旋转；

转子，其安装于该轴且设于排气室内，将真空处理室内的排气对象气体向该排气室内吸引且排出；

所述干式真空泵的特征在于，

在所述排气室和位于与该排气室相邻的位置的邻室之间具有：排气室侧密封件，其对区划该排气室的排气室区划壁部和所述轴之间进行密封；邻室侧密封件，其对区划该邻室的邻室区划壁部和所述轴之间进行密封，

在所述排气室侧密封件和所述邻室侧密封件之间设有供给密封气体的气体导入空间，

所述排气室侧密封件及所述邻室侧密封件分别具有：固定在所述排气室区划壁部侧或所述邻室区划壁部侧的圆环状的基部、从该基部向所述轴侧延伸的一对圆环状的唇部，

一对所述唇部以相互的间隔随着从所述基部朝向所述轴侧而逐渐扩大的方式延伸，且各自的前端部能够相对于所述轴弹性接触。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述基部和一对所述唇部一体构成。

3.根据权利要求1或2所述的干式真空泵，其特征在于，

一对所述唇部分别为不同部件，将这些唇部的基端部相互固定组装而构成所述基部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的干式真空泵，其特征在于，

各所述唇部与所述轴接触的部位为聚四氟乙烯。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的干式真空泵，其特征在于，

收容所述电磁电动机的电磁电动机室设于与所述排气室隔着所述邻室的位置，

所述邻室为储存润滑油的润滑室，

在所述排气对象气体中含有氢气。

6.根据权利要求5所述的干式真空泵，其特征在于，

还具有与从所述排气室排出所述排气对象气体的排气线连接的气体排出通路，在该气体排出通路设有捕捉朝向所述排气线漏出的所述润滑油的捕油器。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的干式真空泵，其特征在于，

还具有与从所述排气室排出所述排气对象气体的排气线连接的气体排出通路，在该气体排出通路设有止回阀，该止回阀允许气体朝向所述排气线的流动且禁止反向的流动。

8.一种干式真空泵，其具有：

电磁电动机，其收容在电磁电动机室内；

轴，其通过该电磁电动机驱动旋转；

转子，其安装于该轴且设于排气室内，将真空处理室内的含有氢气的排气对象气体向该排气室内吸引且排出，

所述干式真空泵的特征在于，

设有净化机构，该净化机构向所述电磁电动机室内导入惰性气体且排出该电磁电动机室内的气体。

9.根据权利要求8所述的干式真空泵，其特征在于，

在所述排气室与所述电磁电动机室之间设有储存润滑油的润滑室，

由所述净化机构导入所述电磁电动机室内的惰性气体通过所述润滑室内而排出。

10.一种干式真空泵，其具有：

电磁电动机，其收容在电磁电动机室内；

轴，其通过该电磁电动机驱动旋转；

转子，其安装于该轴且设于排气室内，将真空处理室内的含有氢气的排气对象气体向该排气室内吸引且排出；

润滑室，其设于所述排气室和所述电磁电动机室之间且储存润滑油，

所述干式真空泵的特征在于，

设有净化机构，其通过形成在所述轴上的气体导入通路从所述电磁电动机室的外部向所述润滑室内导入惰性气体，且排出该润滑室内的气体。

11.根据权利要求8所述的干式真空泵，其特征在于，

在所述排气室与所述电磁电动机室之间设有储存润滑油的润滑室，

在所述排气对象气体中含有氢气。

12.根据权利要求9或10所述的干式真空泵，其特征在于，

在所述排气对象气体中含有氢气。

13.根据权利要求11或12所述的干式真空泵，其特征在于，

所述净化机构具有与从所述排气室排出所述排气对象气体的排气线连接的气体排出通路，在该气体排出通路设有捕捉朝向所述排气线漏出的所述润滑油的捕油器。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的干式真空泵，其特征在于，

所述净化机构具有与从所述排气室排出所述排气对象气体的排气线连接的气体排出通路，在该气体排出通路设有止回阀，该止回阀允许气体朝向所述排气线的流动且禁止反向的流动。