[发明专利]等离子体处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对诸如板的待处理对象执行等离子体处理的等离子体处理装置。

背景技术

等离子体处理被公知为一种用于清洗或刻蚀待处理对象(诸如其上安装有电子部件的板)的表面处理方法。在等离子体处理中，待处理的板被放在形成处理腔的真空腔内。然后，在处理腔内产生等离子体放电，以使得作为等离子放电的结果而产生的离子和电子作用于板的表面，从而执行所希望的表面处理。例如通过离子和电子的微观作用而引起等离子体处理。因而，难以通过诸如可视检查的简单方法来可靠地检查在过程期间是否执行了适当的处理。为此原因，对于检查是否对已经历了等离子处理步骤的板合适地执行了等离子处理的方法，已使用了简单的替换手段(见专利文件1和2)。

在专利文件1中，在待处理的板的表面上形成具有不同颜色和形状的多层判断标记，并且，根据判断标记的可视改变来判断等离子体移除判断标记的程度。此外，在专利文件2中，在处理之后将板从真空腔撤出的撤出路径上提供标记单元，并且，在处理之后被撤出的板上，用笔来作出显示板已被处理的线状标记。

相关技术文件

专利文件

专利文件1：JP-A-11-26917

专利文件2：JP-A-2000-150616

发明内容

本发明要解决的问题

近来，在制造要对其应用等离子体处理的电子部件的领域中，对于需要高耐久性的诸如车载部件的高质量的部件来说，需要与相关技术相比更详细的质量管理。为此原因，即使在等离子体处理过程中，也需要不仅得到用于验证执行了等离子体处理的过程完成的证据，还需要确保安排处理历史信息的可追溯性，所述处理历史信息指示为各个产品正常执行了等离子处理，由此，能够从后续步骤执行回顾调查。然而，包括上述专利文件的例子的相关技术中的等离子体处理装置不具有支持可追溯性的功能，并且，已需要用于确保等离子体处理中的可追溯性的措施。

本发明的目的是提供一种能够确保等离子体处理中的可追溯性的等离子体处理装置。

解决问题的手段

根据本发明的等离子体处理装置包括真空腔、等离子体处理执行部分、操作条件参数存储部分、装置控制部分、放电状态检测单元、历史信息存储部分、日期和时间数据创建部分、对象指明数据输出部分、数据记录部分、以及制造历史文件创建部分。真空腔形成容纳待处理对象的处理腔。等离子体处理执行部分在处理腔中减少的压力状态下，将等离子体产生气体引入处理腔中，通过施加高频电压来在处理腔中产生等离子体放电，并对在处理腔中容纳的待处理对象执行等离子体处理。操作条件参数存储部分存储被设置为等离子体处理执行部分的操作条件的操作条件参数。装置控制部分基于操作条件参数来控制等离子体处理执行部分。放电状态检测单元通过分析与等离子体的改变对应的电势改变来检测放电状态，并基于检测结果，对每个待处理对象判断放电状态的质量。日期和时间数据创建部分创建表示日期和时间的日期和时间数据。对象指明数据输出部分输出用于指明待处理对象的对象指明数据。数据记录部分在每次结束待处理对象的等离子体处理时，读出日期和时间数据、对象指明数据、表示等离子体处理执行部分的操作状态的机器输出数据、以及由放电状态检测单元执行的放电状态的判断结果，并以时间序列(time series)的方式将所述数据存储在历史信息存储部分中。制造历史文件创建部分具有基于指定的时段或日期和时间而从历史信息存储部分读出日期和时间数据、对象指明数据、机器输出数据、以及放电状态的判断结果的功能，以及创建制造历史文件的功能。

本发明的优点

根据本发明的等离子体处理装置具有创建制造历史文件的功能，所述制造历史文件包括表示等离子体处理执行部分的操作状态的机器输出数据、以及由放电状态检测单元执行的放电状态的判定结果。因而，所述等离子体处理装置可以提供制造历史文件，其是可追溯性所必需的信息。具体地，不仅使用由放电状态检测单元执行的放电状态的判定结果，还使用表示那时的等离子体处理执行部分的操作状态的机器输出数据，作为支持已正常地执行了等离子体处理的信息。因而，提高了信息的可靠性。

此外，由于表示等离子体处理装置的操作条件参数或等离子体处理中的图像数据被添加到制造历史文件中，所以可进一步提高信息的可靠性。

附图说明