[发明专利]用于微光刻的照明系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于利用照明光照明照明场的、用于微光刻的照明系统。本发明还涉及一种用于在此类型的照明系统中使用的光栅布置、包括此类型的照明系统的微光刻投射曝光设备、用于微结构或纳米结构构件的微光刻制造方法、以及根据此类型的方法制造的构件。

背景技术

WO 2007/093443A1中公开了开头所述类型的照明系统。

发明内容

本发明的目的是开发一种开头所述类型的照明系统，使得可以影响照明场或物场的照明的特定照明参数，同时可以最大程度地避免对其它照明参数的不期望的影响。

根据本发明的第一方面，通过具有权利要求1中描述的特征的照明系统实现此目的。

根据本发明已经发现，照明系统的光栅布置的光栅元件之间的距离型分配允许部分地或完整地补偿由第一光栅布置的不同类型的第一光栅元件施加在分配的部分光束上的不同聚光效果。在这种情况下，影响照明光的部分光束的单独光栅元件类型之间的其它效果差别(尤其是更高阶的效果)可以被使用到如此程度，使得可以忽略不同类型的第一光栅元件的通常不可避免的不同聚光效果。如果使用折射光栅元件，则例如可以补偿由光栅元件的不同透镜半径施加的不期望的效果，从而在使用非球面透镜形状时，允许使用其它形状贡献(例如高阶形状贡献)来补偿特定的照明参数。根据本发明的照明系统允许校正或预补偿特定的照明参数。例如，当在至少一个光栅布置中使用不同类型的光栅元件时，可以进行椭圆率校正，从而避免对来自不同照明方向的强度分布的不希望的影响。也可以使用反射光栅元件。在这样的情况下，不同类型的光栅元件之间的差别不是由于光栅元件的不同折射效果而是由其不同的反射效果导致。倾斜的透镜也适于用作光栅元件。光栅元件可以是单片的，即它们可以形成为一片，从而光栅布置由单片透镜或基底块制造。替代地，可以设想使用由多个部分组成的光栅元件；这些部分中的一个可以是一组光栅元件或者甚至是一单独的光栅元件。光栅布置之一的特定类型的光栅元件与另一光栅布置的所分配的光栅元件之间的单独距离的变化可以具有严格单调函数的图线的形状，该严格单调函数描述光栅布置的光束引导截面上的距离变化。替代地，此函数可以在光束引导截面上具有最大或最小值。换句话说，该截面上的距离变化可以尤其具有带有至少一个顶点的随机曲线的图线的形状。通常说来，两个光栅布置中的每个也可以仅具有一种类型的光栅元件；从而，光栅布置的光栅引导截面上的距离变化也可以以上面或下面描述的函数或阶梯(stage)的形式实施。照明系统可以配备有一次光源；然而，这不是必须的。也可以想到准备该照明系统用于以后与一次光源一起使用，而该一次光源与该照明系统分离。两个光栅布置的光栅元件之间的自由距离由空气间隙(即不包含固体的中间空间)形成。这两个光栅布置可以是彼此分离的构件。包括具有不同光束影响效果的至少两个类型的光栅元件的光栅布置可以是第一光栅布置、第二光栅布置或两者。

根据权利要求2的至少一个距离台阶是根据本发明的距离分配的分离实施。此类型的距离台阶可以已经设置在用于制造光栅布置的坯体中。

根据权利要求3，光栅元件对光栅区域的类型分配确保照明系统的可重复制造和可重复设计。光栅区域可以分别包括相同类型的光栅元件。

根据权利要求4和5，包括至少一个距离台阶的光栅布置的设计，根据光栅元件关于中心和关于边缘的类型分配，提供相应的补偿效果。

距离分配的优点在根据权利要求6或7的光栅元件的设计中变得特别明显。通过各种类型的第一光栅元件的若干圆锥常数获得对具体照明参数的期望影响。替代地或附加地，不同类型的光栅元件的光束影响表面可以具有不同的曲率半径，可以通过距离型分配将其补偿到期望的程度。换句话说，也可以想到使用光栅元件的具有不同曲率半径的不同类型的球面设计。不同圆锥常数允许在照明场上提供受控的强度变化，用于校正、补偿或预补偿的目的。替代地或附加地，可以通过不同的半径，或者更一般而言，通过各种类型的第一光栅元件的不同设计的非旋转对称自由形状表面，可以获得对具体照明参数的期望影响。

在本发明的第二方面中，根据本发明通过具有在权利要求8中描述的特征的照明系统实现了开头所述的目的。