[发明专利]用于多电极电感等离子体源的无源功率分配

权利要求书

1.一种用于控制处理腔室中等离子体的空间分布的系统，包括：

初级电感器，设置为在所述初级电感器被有源地施加功率时激励所述等离子体；

至少一个次级电感器，定位为邻近于所述初级电感器，以使得通过所述次级电感器的基本全部电流由所述等离子体与所述初级电感器的互感产生；以及

至少一个端接元件，耦合至所述至少一个次级电感器，所述至少一个端接元件影响通过所述至少一个次级电感器的电流，以影响所述等离子体的所述空间分布。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述至少一个端接元件包括阻抗可调节的无源端接元件，以使得通过所述至少一个次级电感器的所述电流能够被调节。

3.如权利要求1所述的系统，包括控制器，所述控制器配置为响应于指示所述等离子体的所述空间分布的信号，来调节所述阻抗可调节的无源端接元件的阻抗。

3、如权利要求1所述的系统，包括N个次级电感器和N个端接元件，其中N等于或者大于一，所述N个次级电感器中的每一个次级电感器耦合至所述N个端接元件中的相应一个端接元件。

4.如权利要求3所述的系统，其中所述N个端接元件中的每一个端接元件包括阻抗可调节的无功端接元件。

5.如权利要求4所述的系统，包括：

N个传感器，所述N个传感器中的每一个传感器提供N个信号中的相应一个信号，所述N个信号中的每一个信号指示邻近于所述N个次级电感器中的相应一个次级电感器的等离子体区域中的等离子体密度；以及

耦合至所述N个传感器和所述N个端接元件的控制器，所述控制器适于响应于所述N个信号来调节通过所述N个端接元件中的每一个端接元件的电流，以调节邻近于所述N个次级电感器的所述等离子体区域中的每一个等离子体区域中的所述等离子体密度。

6.如权利要求5所述的系统，其中所述N个传感器中的至少一些传感器包括电流传感器，所述电流传感器配置为提供指示通过所述N个次级电感器中的至少一些次级电感器中的相应一个次级电感器的电流的信号，并且其中所述阻抗可调节的无功端接元件中的至少一些阻抗可调节的无功端接元件包括可变电容器。

7.一种用于控制处理腔室中的等离子体的空间分布的方法，所述处理腔室包括初级电感器和N个次级电感器，所述方法包括：

利用所述初级电感器来激励所述处理腔室中的等离子体；

通过所述等离子体将所述初级电感器电感耦合至N个次级电感器中的每一个次级电感器，其中N等于或者大于一；以及

端接所述N个次级电感器中的每一个次级电感器，以使得通过所述N个次级电感器中的每一个次级电感器的基本全部电流由所述等离子体与所述初级电感器的互感产生，通过所述N个次级电感器中的每一个次级电感器的所述电流影响所述等离子体的所述空间分布。

8.如权利要求7所述的方法，其中端接所述N个次级电感器中的每一个次级电感器包括无源地端接所述N个次级电感器中的每一个次级电感器。

9.如权利要求7所述的方法，包括调节通过所述N个次级电感器的电流，以调节所述等离子体的所述空间分布。

10.如权利要求9所述的方法，其中端接包括：将所述N个次级电感器中的每一个次级电感器与阻抗可调节的端接元件端接，并且调节通过所述N个次级电感器的电流包括：通过调节所述阻抗可调节的端接元件中的每一个阻抗可调节的端接元件的阻抗来调节所述电流。

11.如权利要求10所述的方法，包括：

感测指示邻近于所述N个次级电感器的区域中的等离子体密度的至少一个参数，并且响应于所述感测来调节所述阻抗可调节的端接元件的阻抗。

12.如权利要求11所述的方法，包括感测所述N个次级电感器中的每一个次级电感器中的电流，并且通过调节所述阻抗可调节的端接元件的电容来调节所述阻抗可调节的端接元件的阻抗。