[发明专利]多入口真空泵

权利要求书

1.一种多入口真空泵，包括：

第一泵级和第二泵级；

第一入口和第二入口，每一个都被设置用于从腔室接收气体分子；以及

被设置用于从泵中排出气体分子的出口；

其中第一泵级和第二泵级提供了从入口到出口的流动路径，流动路径被设置为使得进入第一入口的分子经过第一泵级和第二泵级到达出口，并且使得进入第二入口的分子经过级间容积和第二泵级到达出口；

其特征在于第一泵级和第二泵级每一个都包括涡轮分子副级和牵引分子副级。

2.如权利要求1所述的装置，其中级间容积置于第一泵级和第二泵级之间，并且其中泵可操作使得级间容积内的压力在0.001mbar到1mbar之间。

3.如权利要求1或2所述的装置，其中牵引分子副级各自设置在相应的涡轮分子副级的下游。

4.如权利要求1所述的装置，其中第一泵级和第二泵级每一个中的转子部件都布置在被设置为由电机驱动的转子轴上。

5.如权利要求1所述的装置，进一步包括被设置在第一泵级上游的第三泵级，以及被设置用于将气体分子从腔室接收到第三泵级内的第三入口。

6.如权利要求5所述的装置，其中第三泵级只包括涡轮分子副级。

7.如权利要求4和5所述的装置，其中第三泵级的转子部件被在布置在转子轴上。

8.如权利要求5所述的装置，其中通过第三泵级的流动路径被设置为使得进入第三入口的分子分别经过第三泵级、第一泵级和第二泵级到达出口。

9.如权利要求1所述的装置，其中第一泵级或第二泵级中的牵引分子副级被设置为Seigbahn, Holweck和Gaede牵引分子副级中的任意一种或其组合。

10.如权利要求1所述的装置，进一步包括质谱仪，质谱仪包括多个腔室，腔室具有被设置为与泵的入口相配合的出口。