[发明专利]坐标测量机（CMM）和补偿坐标测量机中的误差的方法

权利要求书

1.一种用于确定待测物体(12)上的测量点(13)的至少一个空间坐标的坐标测量机(1)，所述坐标测量机包括：

●静止的基座(3)；

●探头(6)，所述探头能相对于所述基座(3)运动，

●至少一个线性驱动机构(2X，2Y，2Z)，所述至少一个线性驱动机构用于提供所述探头(6)沿第一方向(X，Y，Z)相对于所述基座(3)的可动性；

所述线性驱动机构(2X，2Y，2Z)具有：

□沿所述第一方向(X，Y，Z)的线性导向件(4X，4Y)；

□可动部件(5X，5Y)，所述可动部件由轴承(7₁X，7₂X，7₃X，7₄X，7₁Y，7₂Y，7₃Y，7₄Y)支撑以沿着所述导向件(4X，4Y)运动；以及

□线性测量仪器(8X，8Y)，所述线性测量仪器用于确定所述可动部件(5X，5Y)沿所述第一方向(X，Y，Z)的第一驱动位置；

以及

●计算单元(11)，所述计算单元用于至少根据所述第一驱动位置确定所述空间坐标；

其特征在于：

●所述线性驱动机构(2X，2Y，2Z)还至少包括预校准的第一集成式传感器组件(10₁X，10₂X，10₁Y，10₂Y)，所述第一集成式传感器组件具有至少两个位移传感器(9₁X，9₂X，9₃X，9₄X，9₅X，9₁Y，9₂Y，9₃Y，9₄Y，9₅Y)，每个所述位移传感器均被构造成用于测量沿与所述第一方向(X，Y，Z)不平行的方向从所述可动部件(5X，5Y)到所述导向件(4X，4Y)的距离，具体的是所述可动部件(5X，5Y)和所述导向件(4X，4Y)的面对的表面(4S₁X，4S₂X，5S₁X，5S₂X)之间的支承距离，其中感测到的距离表示：

□所述可动部件(5X，5Y)沿垂直于所述第一方向(X，Y，Z)的方向从通常的支承位置移位的平移位移；和

□所述可动部件(5X，5Y)的旋转位移；

●其中，所述空间坐标由所述计算单元(11)进一步根据所表示的位移来确定。

2.根据权利要求1所述的坐标测量机(1)，

其特征在于：

所述位移传感器(9₁X，9₂X，9₃X，9₄X，9₅X，9₁Y，9₂Y，9₃Y，9₄Y，9₅Y)被构造为光学距离传感器、电容距离传感器或电感距离传感器。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的坐标测量机(1)，

其特征在于：

所述轴承(7₁X，7₂X，7₃X，7₄X，7₁Y，7₂Y，7₃Y，7₄Y)被构造为空气轴承。