[发明专利]包含铟醇盐的组合物,其制备方法及其用途有效

专利信息
申请号: 201080007949.4 申请日: 2010-02-05
公开(公告)号: CN102317503A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: J.施泰格;H.蒂姆;A.默库洛夫;D.V.范;Y.达马舍克;A.霍佩 申请(专利权)人: 赢创德固赛有限责任公司
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 石克虎;林森
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 包含 铟醇盐 组合 制备 方法 及其 用途
【权利要求书】:

1. 包含铟醇盐的液体组合物,其包含:

-至少一种铟醇盐,和

-至少三种溶剂L1、L2和L3

特征在于溶剂L1选自乳酸乙酯、苯甲醚、四氢糠醇、醋酸丁酯、乙二醇二乙酸酯和苯甲酸乙酯,和在SATP条件下两种溶剂L2和L3的沸点之间的差异至少是30°C。

2. 根据权利要求1的组合物,特征在于溶剂L1选自乳酸乙酯、苯甲醚、四氢糠醇和醋酸丁酯。

3. 根据权利要求1和2中任一项的组合物,特征在于该至少一种铟醇盐是铟(III)醇盐,其具有至少一个C1-到C15-烷氧基或者-氧烷基烷氧基基团。

4. 根据权利要求3的组合物,特征在于该铟(III)醇盐是异丙醇铟。

5. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于该铟醇盐在组合物中以1-15重量%,更优选2-10重量%,最特别优选2.5-7.5重量%的份额存在,基于该组合物的总质量。

6. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于溶剂L2和L3是有机溶剂,它们彼此独立地选自醇、多元醇、酯、胺、酮或醛。

7. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于L2在SATP条件下的沸点是30–120°C,L3在SATP条件下的沸点是120–300°C。

8. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于L2选自异丙醇、甲醇、乙醇、丙酮、甲苯、四氢呋喃、醋酸乙酯、甲乙酮、氯仿和乙二醇二甲基醚。

9. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于L3选自四氢糠醇、醋酸丁酯、二甘醇、苯甲醚、乙二醇二乙酸酯、苯甲酸乙酯和乳酸乙酯。

10. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于该组合物包含两种溶剂:异丙醇和二甘醇。

11. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于L2的份额是30–95重量%,基于该组合物的总质量,和L3的份额是0.5–70重量%,基于该组合物的总质量。

12. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于该组合物至少包含三种溶剂:异丙醇、醋酸丁酯和乳酸乙酯。

13. 根据前述权利要求中任一项的组合物,特征在于它还包含至少一种另外的金属醇盐。

14. 根据权利要求13的组合物,特征在于该至少一种金属醇盐的份额是0.01–7.5重量%,基于该组合物的总质量。

15. 用于制备根据前述权利要求中任一项的包含铟醇盐的液体组合物的方法,特征在于将该至少一种铟醇盐与所述至少三种溶剂的混合物进行混合。

16. 用于制备根据权利要求1-14中任一项的包含铟醇盐的液体组合物的方法,特征在于将包含至少一种铟醇盐和至少一种溶剂的组合物与其它溶剂进行混合。

17. 权利要求1-14中任一项的组合物用于生产半导体结构的用途。

18. 权利要求1-14中任一项的组合物用于生产电子元件,特别是用于生产(薄膜)晶体管,二极管或者太阳能电池的用途。

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