[发明专利]微机电传感器

权利要求书

1. 一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x-y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱，其特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。

2. 如上述权利要求所述的MEMS，其特征在于，一组中的驱动元件（2，3）可相对平行运动，至少两个平行受驱的驱动元件（2，3）借助多个耦合装置（5）彼此相连，所述耦合装置在驱动方向上为刚性，从而使两个驱动元件（2，3）的驱动运动同步化。

3. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述用于同步化所述平行运动的耦合装置（5）为相同类型的耦合装置。

4. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述多个用于使相互间成直角的运动同步化的耦合装置（6，7）为相同类型的耦合装置。

5. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述用于使相互间成直角的运动同步化的耦合装置（6，7）是一可绕一锚件（6.1，7.1）旋转的支臂（6.2，7.2）。

6. 如权利要求5所述的MEMS，其特征在于，所述支臂（6.2，7.2）呈弧形。

7. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述支臂（6.2，7.2）在其第一末端区域内与所述沿x向受驱的驱动元件（2，3）相连，在其第二末端区域内与所述沿y向受驱的驱动元件（4）相连。

8. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述支臂（6.2'，7.2'）呈圆形。

9. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，在所述支臂（6.2'，7.2'）和所述驱动元件（2，3，4）之间设有一弹簧装置（6.4，7.4）。

10. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述弹簧装置（6.4，7.4）在驱动方向上为刚性，在与所述驱动方向成直角的方向上为柔性。

11. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，每个驱动方向上的驱动元件（2，3，4）都成对设有子元件（2.1，2.2；3.1，3.2；4.1，4.2）。

12. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，一驱动元件（2）沿x向受驱，且借助一锚件（2.5）以可完全或部分沿y向偏斜的方式布置在所述衬底上，以便测定因所述衬底绕z轴旋转而产生的科氏力。

13. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，一驱动元件（3）沿x向受驱，且借助一锚件（3.7）以可完全或部分绕y轴偏斜的方式布置在所述衬底上，以便测定因所述衬底绕y轴旋转而产生的科氏力。

14. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，一驱动元件（4）沿y向受驱，且借助一锚件（4.7）以可完全或部分绕x轴偏斜的方式布置在所述衬底上，以便测定因所述衬底绕x轴旋转而产生的科氏力。

15. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，设有多个分配给所述驱动元件（2，3，4）的驱动电极。

16. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述驱动元件（2，3，4）具有一大体呈矩形的轮廓。

17. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，所述驱动元件（2，3，4）具有反相受驱的子元件（2.1，2.2；3.1，3.2；4.1，4.2）。

18. 如上述权利要求中任一项或多项所述的MEMS，其特征在于，至少其中一个所述驱动元件（2，3，4）的子元件（2.1，2.2；3.1，3.2；4.1，4.2）布置在一横臂上（3.4，4.4），所述横臂以可倾斜的方式安装在所述衬底上。