[发明专利]固态成像装置

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

多个相差检测像素，其具有光轴按照预定方向从光电转换元件的光接收表面的中心偏移的微透镜；以及

多个成像专用像素，其具有比相差检测像素的微透镜更大的微透镜，并且对成像专用像素的微透镜进行布置，使得成像专用像素的微透镜的光轴与光电转换元件的光接收表面的中心近似地一致，其中围绕相差检测像素排列的微透镜被形成为小于其他微透镜。

2.根据权利要求1的固态成像装置，其中多个成像专用像素具有至少三种大小的微透镜，并且随着微透镜的位置变得与相差检测像素更加接近，微透镜的大小逐渐变得更小。

3.根据权利要求1的固态成像装置，其中相差检测像素的微透镜的一部分进入相邻的成像专用像素的未用空间中。

4.一种固态成像装置，包括：

多个相差检测像素，其具有光轴按照预定方向从光电转换元件的光接收表面的中心偏移的微透镜；以及

多个成像专用像素，其具有比相差检测像素的微透镜更大的微透镜，并且对成像专用像素的微透镜进行布置，使得成像专用像素的微透镜的光轴与光电转换元件的光接收表面的中心近似地一致，其中围绕相差检测像素排列的微透镜从光电转换元件开始的高度比相差检测像素的微透镜的高度更低。

5.根据权利要求4的固态成像装置，其中在形成每个微透镜的透镜形成表面上，在与围绕相差检测像素排列的成像专用像素相对应的位置处形成凹陷部分，并且通过在该凹陷部分的内部底表面上形成微透镜，使得围绕相差检测像素排列的微透镜从光电转换元件开始的高度变得比相差检测像素的微透镜的高度更低。

6.根据权利要求5的固态成像装置，其中通过在透镜形成表面上形成不同深度的多个凹陷部分，随着成像专用像素的微透镜的位置变得与相差检测像素更加接近，成像专用像素的微透镜的高度逐渐变得更低。

7.根据权利要求5的固态成像装置，其中将相差检测像素的一部分微透镜设置到通过使相邻的成像专用像素的微透镜的高度更低而形成的空间中。

8.根据权利要求4的固态成像装置，其中在形成每个微透镜的透镜形成表面上，在对应于相差检测像素的位置处形成凸起部分，并且通过在该凸起部分上形成微透镜，使得相差检测像素的微透镜的高度变得比成像专用像素的微透镜的高度更高。

9.一种固态成像装置，包括：

多个成像专用像素，其具有布置的微透镜，使得微透镜的光轴与光电转换元件的光接收表面的中心近似地一致；以及

多个相差检测像素，其具有比成像专用像素的微透镜更小的微透镜，并且对相差检测像素的微透镜进行布置，使得相差检测像素的微透镜的光轴按照预定方向从光电转换元件的光接收表面的中心偏移，其中相差检测像素的微透镜具有底部部分朝向与成像专用像素相邻的边界部分延伸的非球形形状。

10.一种固态成像装置，包括：

多个相差检测像素，其具有光轴按照预定方向从光电转换元件的光接收表面的中心偏移的微透镜；以及

多个成像专用像素，其具有比相差检测像素的微透镜更大的微透镜，并且对成像专用像素的微透镜进行布置，使得成像专用像素的微透镜的光轴与光电转换元件的光接收表面的中心近似地一致，其中使得围绕相差检测像素排列的光电转换元件在半导体衬底上的高度比相差检测像素的光电转换元件的高度更低。

11.根据权利要求10的固态成像装置，其中在半导体衬底的表面上，在与围绕相差检测像素排列的成像专用像素相对应的位置处形成凹陷部分，并且通过在该凹陷部分的内部底表面上形成光电转换元件，使得围绕相差检测像素排列的光电转换元件的高度变得比相差检测像素的光电转换元件的高度更低。

12.根据权利要求10的固态成像装置，其中在半导体衬底的表面上，在对应于相差检测像素的位置处形成凸起部分，并且通过在该凸起部分上形成光电转换元件，使得相差检测像素的光电转换元件的高度变得比成像专用像素的光电转换元件的高度更高。

13.根据权利要求12的固态成像装置，其中凸起部分具有形成为指向相差检测像素的微透镜的斜面，并且相差检测像素的光电转换元件形成在该斜面上。