[发明专利]工件的薄膜加工方法及薄膜加工装置无效
| 申请号： | 201080010793.5 | 申请日： | 2010-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102341211A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 荒井邦夫;金谷保彦;石井和久;本田宽 | 申请（专利权）人： | 日立VIA机械株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/10;B23K26/12;B23K26/14;B23K26/16;B23K26/42;H01L31/04;B23K101/40;B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 田*;杨楷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 薄膜 加工 方法 装置 | ||
1.一种工件的薄膜加工方法，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，利用压缩空气在上下方向支承所述工件，同时在用夹持装置跟踪所述工件的上下方向的移动而夹持工件的状态下，从所述工件的背面一侧照射激光来对所述表面一侧的薄膜进行加工。
2.一种工件的薄膜加工方法，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，一边对加工部吹出致冷剂一边用激光进行加工。
3.如权利要求1所述的工件的薄膜加工方法，其特征在于，一边对加工部吹出致冷剂一边进行加工。
4.如权利要求2或3所述的工件的薄膜加工方法，其特征在于，所述致冷剂是喷雾状的液体、液体及气体中的一种。
5.一种工件的薄膜加工装置，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，具有：支承装置，该支承装置利用压缩空气在上下方向支承所述工件；夹持装置，该夹持装置跟踪所述工件的上下方向的移动而夹持该工件；激光照射装置，该激光照射装置用激光对所述薄膜进行加工，所述激光照射装置从所述工件的背面一侧对所述工件照射激光来对所述表面一侧的薄膜进行加工。
6.一种工件的薄膜加工装置，所述工件已在透明玻璃的表面配置了薄膜，其特征在于，具有：喷出致冷剂的喷嘴和用激光对所述薄膜进行加工的激光照射装置，加工时，利用所述喷嘴，从由所述激光照射装置出射的激光入射到所述薄膜的位置上的所述薄膜一侧喷出所述致冷剂。
7.如权利要求5所述的工件的薄膜加工装置，其特征在于，还具有喷出致冷剂的喷嘴，加工时，利用所述喷嘴，从由所述激光照射装置出射的激光入射到所述薄膜的位置上的所述薄膜一侧喷出所述致冷剂。
8.如权利要求6或7所述的工件的薄膜加工装置，其特征在于，所述致冷剂是喷雾状的液体、液体及气体中的一种。
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