[发明专利]具备末端执行器的机器人及其运行方法

权利要求书

1.一种末端执行器，安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：

多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变上述托板部件彼此的托板间隔；

托板支撑部，支撑上述多个托板部件，与上述多个托板部件一体地被上述机器人驱动；

托板驱动单元，使上述多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变上述托板间隔。

2.如权利要求1所述的末端执行器，其特征在于，上述多个托板部件构成为在从相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向观察时相互不重合。

3.如权利要求1或2所述的末端执行器，其特征在于，上述托板间隔是相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向上的间隔。

4.如权利要求3所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元移动上述托板部件的方向是上述基板垂线方向。

5.如权利要求1至4中任一项所述的末端执行器，其特征在于，

上述多个托板部件分别具有上述基板抵接的基板保持部，

构成为通过由上述托板驱动单元缩小上述托板间隔，上述多个托板部件的基板保持部彼此为大致同一面。

6.如权利要求1至5中任一项所述的末端执行器，其特征在于，构成为通过由上述托板驱动单元缩小上述托板间隔，相对于上述基板的表面垂直的基板垂线方向上的上述多个托板部件整体的厚度小于规定的厚度。

7.如权利要求6所述的末端执行器，其特征在于，上述规定的厚度与上述基板的多级载置部上的基板配置间距相对应。

8.如权利要求6所述的末端执行器，其特征在于，上述规定的厚度是上述基板的多级载置部上邻接的载置部之间的托板可能存在的厚度。

9.如权利要求1至8中任一项所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元构成为针对上述托板间隔选择性地规定最大间隔与最小间隔中的某一间隔。

10.如权利要求9所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元包含液压缸。

11.如权利要求1至8中任一项所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元构成为针对上述托板间隔能够在最大间隔与最小间隔之间任意规定。

12.如权利要求11所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元包含伺服马达。

13.如权利要求9至12中任一项所述的末端执行器，其特征在于，上述多个托板部件至少包含三个托板部件，上述最大间隔因邻接的一对上述托板部件的组的不同而不同。

14.如权利要求9至13中任一项所述的末端执行器，其特征在于，在邻接的上述托板部件彼此的间隔为上述最大间隔的情况下，当将邻接的上述托板部件彼此的间隔设为D，将上述基板的多级载置部上的基板配置间距设为P时，nP<D<（n＋1）P，其中n为包括0在内的自然数。

15.如权利要求1至14中任一项所述的末端执行器，其特征在于，上述多个托板部件分别具有固定单元，在运送上述基板之际固定上述基板，以使上述基板不脱离上述托板部件。

16.如权利要求15所述的末端执行器，其特征在于，上述固定单元包含具有能够释放地与上述基板的缘部抵接的可动抵接部的边缘引导机构。

17.如权利要求16所述的末端执行器，其特征在于，

上述托板驱动单元构成为针对上述托板间隔选择性地规定最大间隔与最小间隔中的某一间隔，

邻接的上述托板部件的上述可动抵接部彼此的间隔与上述最大间隔相配合地设定。

18.如权利要求15所述的末端执行器，其特征在于，上述固定单元具有包含对上述基板进行真空吸附的吸附部的吸附机构。